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1. (WO2014180060) CONTACT-TYPE INFILTRATION TANK FOR PHOTORESIST COATING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/180060    International Application No.:    PCT/CN2013/078498
Publication Date: 13.11.2014 International Filing Date: 29.06.2013
IPC:
B05C 5/02 (2006.01), B05C 5/00 (2006.01)
Applicants: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD [CN/CN]; No.9-2, Tangming Road, Guangming New District Shenzhen, Guangdong 518132 (CN)
Inventors: CHEN, Hui; (CN)
Agent: GUANGDONG GUANGHE LAW FIRM; 20/F, Block A.World Trade Plaza FuHong Rd, Futian District Shenzhen, Guangdong 518033 (CN)
Priority Data:
201310173578.2 10.05.2013 CN
Title (EN) CONTACT-TYPE INFILTRATION TANK FOR PHOTORESIST COATING DEVICE
(FR) RESERVOIR D'INFILTRATION DE TYPE A CONTACT POUR UN DISPOSITIF DE REVETEMENT DE PHOTORESINE
(ZH) 一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽
Abstract: front page image
(EN)A contact-type infiltration tank (10) for a photoresist coating device comprises an infiltration tank body (1) and a coating spraying head (2). A tail end of the coating spray head (2) is provided with a nozzle (20). A limiting part (3) is additionally arranged in the infiltration tank body (1), and the limiting part (3) clamps an end part of the coating spraying head (2), so that only the nozzle (20) of the coating spraying head (2) is soaked in a solvent carried by the infiltration tank body (1). The spraying head is supported by the limiting part, and a non-nozzle part is separated from the solvent, so that the solvent is prevented from remaining on other parts; and a contact surface between the limiting part and the coating spraying head is arranged on an upper part of the nozzle, and the limiting part is seamlessly bonded with the coating spraying head.
(FR)L'invention concerne un réservoir d'infiltration de type à contact (10) pour un dispositif de revêtement de photorésine qui comprend un corps de réservoir d'infiltration (1) et une tête de pulvérisation de revêtement (2). Une extrémité de queue de la tête de pulvérisation de revêtement (2) est dotée d'une buse (20). Une partie de limitation (3) est de plus disposée dans le corps de réservoir d'infiltration (1) et la partie de limitation (3) serre une partie d'extrémité de la tête de pulvérisation de revêtement (2), de telle sorte que seulement la buse (20) de la tête de pulvérisation de revêtement (2) est trempée dans un solvant porté par le corps de réservoir d'infiltration (1). La tête de pulvérisation est portée par la partie de limitation, et une partie non buse est séparée du solvant, de telle sorte que le solvant est empêché de rester sur les autres parties ; et une surface de contact entre la partie de limitation et la tête de pulvérisation de revêtement est disposée sur une partie supérieure de la buse et la partie de limitation est liée sans soudure à la tête de pulvérisation de revêtement.
(ZH)一种用于光阻涂布设备的接触式浸润槽(100),包括浸润槽主体(1)和涂布喷头(2),所述涂布喷头(2)的末端设有喷嘴(20),在浸润槽主体(1)中增设有限定部件(3),限定部件(3)夹持在涂布喷头(2)的端部,使得仅所述涂布喷头(2)的喷嘴(20)浸入浸润槽主体(1)承载的溶剂中。通过限定部件支撑所述喷头,并将非喷嘴部分与溶剂相隔离,避免其他部分残留溶剂,所述限定部件和涂布喷头的接触面设于喷嘴上部,两者之间无缝贴合在一起。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)