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1. (WO2014179340) METHODS AND SYSTEMS FOR CHEMICALLY ENCODING HIGH-RESOLUTION SHAPES IN SILICON NANOWIRES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/179340    International Application No.:    PCT/US2014/035920
Publication Date: 06.11.2014 International Filing Date: 29.04.2014
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: THE UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL [US/US]; 308 Bynum Hall, Campus Box 4105 Chapel Hill, NC 27599-4105 (US)
Inventors: CAHOON, James; (US).
CHRISTESEN, Joseph; (US).
PINION, Christopher; (US)
Agent: WILSON, Jeffrey, L.; (US)
Priority Data:
61/817,098 29.04.2013 US
Title (EN) METHODS AND SYSTEMS FOR CHEMICALLY ENCODING HIGH-RESOLUTION SHAPES IN SILICON NANOWIRES
(FR) PROCÉDÉS ET SYSTÈMES POUR CODER CHIMIQUEMENT DES FORMES À HAUTE RÉSOLUTION DANS DES NANOFILS DE SILICIUM
Abstract: front page image
(EN)Methods of chemically encoding high-resolution shapes in silicon nanowires during metal nanoparticle catalyzed vapor-liquid-solid growth or vapor-solid-solid growth are provided. In situ phosphorus or boron doping of the silicon nanowires can be controlled during the growth of the silicon nanowires such that high-resolution shapes can be etched along a growth axis on the silicon nanowires. Nanowires with an encoded morphology can have high-resolution shapes with a size resolution of about 1,000 nm to about 10 nm and comprise geometrical shapes, conical profiles, nanogaps and gratings.
(FR)L'invention concerne des procédés de codage chimique de formes à résolution élevée dans des nanofils de silicium pendant la croissance vapeur-liquide-solide ou la croissance vapeur-solide-solide catalysée par des nanoparticules métalliques. Le dopage in situ par du phosphore ou du bore des nanofils de silicium peut être régulé pendant la croissance des nanofils de silicium de telle sorte que des formes à résolution élevée peuvent être soumises à une gravure par attaque chimique le long d'un axe de croissance sur les nanofils de silicium. Des nanofils ayant une morphologie codée peuvent avoir des formes à haute résolution dont la résolution de dimension est d'environ 1 000 nm à environ 10 nm et comportent des formes géométriques, des profils coniques, des nano-écartements et des grilles.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)