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1. (WO2014179111) MEMS PRESSURE SENSORS WITH INTEGRATED BAFFLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/179111    International Application No.:    PCT/US2014/034908
Publication Date: 06.11.2014 International Filing Date: 22.04.2014
IPC:
G01L 9/00 (2006.01), G01L 7/08 (2006.01), B81B 7/02 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810 (US)
Inventors: GU, Lei; (US).
BART, Stephen, F.; (US)
Agent: MCCLOSKEY, G. Matthew; Mcdermott Will & Emery LLP 28 State Street Boston, MA 02109 (US)
Priority Data:
61/817,713 30.04.2013 US
14/101,207 09.12.2013 US
Title (EN) MEMS PRESSURE SENSORS WITH INTEGRATED BAFFLES
(FR) CAPTEURS DE PRESSION MEMS À DÉFLECTEURS INTÉGRÉS
Abstract: front page image
(EN)A pressure sensor system may sense the pressure of a gas or liquid. The system may include a housing that has an entry port for the gas or liquid; a pressure sensor within the housing; and a baffle positioned between the entry port and the pressure sensor. The baffle may have one or more inlets oriented to receive gas or liquid that enters the entry port; one or more outlets oriented to deliver the received gas or liquid to the pressure sensor; and one or more sealed flow channels that prevent the gas or liquid from escaping from the baffle, other than through the one or more outlets. At least one of the outlets may be located within no more than one millimeter of a location on the pressure sensor. The pressure sensor and baffle may be made at the same time during a process of depositing, pattering, etching, wafer bonding, and/or wafer thinning a series of layers using microelectromechanical systems (MEMS) technology.
(FR)Système de détection de pression pouvant détecter la pression d'un gaz ou liquide. Le système peut comprendre un carter qui possède un orifice d'entrée pour le gaz ou liquide; un capteur de pression situé à l'intérieur du carter; et un déflecteur positionné entre l'orifice d'entrée et le capteur de pression. Le déflecteur peut comporter une ou plusieurs entrées orientées pour recevoir le gaz ou liquide qui entre dans l'orifice d'entrée; une ou plusieurs sorties orientées pour distribuer le gaz ou liquide reçu au capteur de pression; et un ou plusieurs canaux d'écoulement hermétiques qui empêchent le gaz ou liquide de s'échapper du déflecteur, autrement que par le biais de la ou des sorties. Au moins une des sorties peut se situer dans pas plus d'un millimètre d'un emplacement sur le capteur de pression. Le capteur de pression et le déflecteur peuvent être créés en même temps pendant un processus de dépôt, de modelage, de gravure, de liaison de plaquette et/ou d'affinement de plaquette d'une série de couches à l'aide d'une technologie de systèmes micro-électromécaniques (MEMS).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)