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1. (WO2014177243) ACCELERATION SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING AN ACCELERATION SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2014/177243    International Application No.:    PCT/EP2014/000833
Publication Date: 06.11.2014 International Filing Date: 27.03.2014
Chapter 2 Demand Filed:    16.01.2015    
IPC:
G01P 15/08 (2006.01), B81B 5/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01), G01P 15/125 (2006.01)
Applicants: NORTHROP GRUMMAN LITEF GMBH [DE/DE]; Lörracher Straße 18 79115 Freiburg (DE)
Inventors: GEIGER, Wolfram; (DE).
BARTHOLOMEYCZIK, Julian; (DE).
LEINFELDER, Peter; (DE)
Agent: HOFFMANN, Jörg Peter; MÜLLER . HOFFMANN & PARTNER Patentanwälte St.-Martin-Strasse 58 81541 München (DE)
Priority Data:
10 2013 007 593.9 02.05.2013 DE
Title (DE) BESCHLEUNIGUNGSSENSOR SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BESCHLEUNIGUNGSSENSORS
(EN) ACCELERATION SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING AN ACCELERATION SENSOR
(FR) DÉTECTEUR D'ACCÉLÉRATION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DÉTECTEUR D'ACCÉLÉRATION
Abstract: front page image
(DE)Ein Beschleunigungssensor weist ein Substrat mit einer Substratoberfläche und eine Probemasse auf, welche relativ zum Substrat in eine zur Substratoberfläche parallele erste Richtung (x) beweglich ist. Die Probemasse hat eine mit der Probemasse bewegliche Kammelektrode mit mehreren Zähnen, welche sich in die erste Richtung (x) erstrecken. Der Beschleunigungssensor weist ferner eine fest mit dem Substrat verbundene Gegenelektrode auf, welche eine feste Kammelektrode hat und wobei diese feste Kammelektrode mehrere Zähne aufweist, welche sich in eine der ersten Richtung (x) entgegengesetzte Richtung erstrecken. Die Zähne der beweglichen Kammelektrode greifen mit denen der festen Kammelektrode ineinander. Der Beschleunigungssensor weist ferner eine fest mit dem Substrat verbundene Schirmelektrode auf, welche geeignet ist, während einer Auslenkungsbewegung der Probemasse eine pneumatische Dämpfung der Probemasse zu erhöhen.
(EN)The invention relates to an acceleration sensor, comprising a substrate having a substrate surface and a sample mass that is movable relative to the substrate in a first direction (x) parallel to the substrate surface. The sample mass has a comb-like electrode that is movable together with the sample mass and has a plurality of teeth, which extend in the first direction (x). The acceleration sensor further comprises a counter-electrode fixedly connected to the substrate, which counter-electrode has a fixed comb-like electrode and wherein said fixed comb-like electrode has a plurality of teeth which extend in a direction opposite to the first direction (x). The teeth of the movable comb-like electrode engage with the teeth of the fixed comb-like electrode. The acceleration sensor further comprises a shielding electrode fixedly connected to the substrate and which is suitable for increasing a pneumatic damping of the sample mass during a deflection movement of the sample mass.
(FR)L'invention concerne un détecteur d'accélération présentant un substrat doté d'une surface de substrat et une masse d'échantillon apte à être déplacée par rapport au substrat dans une première direction (x) parallèle à la surface du substrat. La masse d'échantillon a une électrode en peigne dotée de plusieurs dents s'étendant dans la première direction (x), laquelle électrode en peigne étant mobile avec la masse d'échantillon. Le détecteur d'accélération présente également une contre-électrode solidement reliée au substrat, laquelle contre-électrode a une électrode en peigne fixe qui présente plusieurs dents s'étendant dans une direction opposée à la première direction (x). Les dents de l'électrode en peigne mobile s'interpénètrent avec celles de l'électrode en peigne fixe. Le détecteur d'accélération présente également une grille de protection qui est reliée au substrat et qui est permet, lors d'un mouvement d'excursion de la masse d'échantillon, d'augmenter un amortissement pneumatique de la masse d'échantillon.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)