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1. WO2014160981 - METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING CONVECTIVE FLOW IN A LIGHT-SUSTAINED PLASMA

Publication Number WO/2014/160981
Publication Date 02.10.2014
International Application No. PCT/US2014/032260
International Filing Date 28.03.2014
IPC
H01J 61/02 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
61Gas-discharge or vapour-discharge lamps
02Details
CPC
H01J 61/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
61Gas-discharge or vapour-discharge lamps
02Details
24Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
28Means for producing, introducing, or replenishing gas or vapour during operation of the lamp
H01J 61/523
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
61Gas-discharge or vapour-discharge lamps
02Details
52Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
523Heating or cooling particular parts of the lamp
H01J 65/00
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
65Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
H01J 65/042
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
65Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
04Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating ; plasma display panels
042by an external electromagnetic field
H05H 1/24
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
Applicants
  • KLA-TENCOR CORPORATION [US]/[US]
Inventors
  • BEZEL, Ilya
  • SHCHEMELININ, Anatoly
  • DERSTINE, Matthew
  • GROSS, Kenneth P.
  • SHORTT, David W.
  • ZHAO, Wei
  • CHIMMALGI, Anant
  • WANG, Jincheng
Agents
  • MCANDREWS, Kevin
Priority Data
14/224,94525.03.2014US
61/806,73929.03.2013US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING CONVECTIVE FLOW IN A LIGHT-SUSTAINED PLASMA
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR LA RÉGULATION D'UN ÉCOULEMENT CONVECTIF DANS UN PLASMA ENTRETENU PAR LA LUMIÈRE
Abstract
(EN)
A system for controlling convective flow in a light-sustained plasma includes an illumination source configured to generate illumination, a plasma cell including a bulb for containing a volume of gas, a collector element arranged to focus illumination from the illumination source into the volume of gas in order to generate a plasma within the volume of gas contained within the bulb. Further, the plasma cell is disposed within a concave region of the collector element, where the collector element includes an opening for propagating a portion of a plume of the plasma to a region external to the concave region of the collect element.
(FR)
L'invention concerne un système pour réguler un écoulement convectif dans un plasma entretenu par la lumière, qui comprend une source d'éclairage configurée pour générer un éclairage, une cellule à plasma comprenant une ampoule pour contenir un volume de gaz, un élément collecteur disposé pour focaliser l'éclairage provenant de la source d'éclairage dans le volume de gaz de façon à générer un plasma à l'intérieur du volume de gaz contenu à l'intérieur de l'ampoule. De plus, la cellule à plasma est disposée à l'intérieur d'une région concave de l'élément collecteur, l'élément collecteur comprenant une ouverture pour propager une partie d'un panache du plasma dans une région externe à la région concave de l'élément collecteur.
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