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201. (WO2013186381) ELECTRICAL CIRCUIT TO IMPEDANCE MATCH A SOURCE AND A LOAD AT MULTIPLE FREQUENCIES, METHOD TO DESIGN SUCH A CIRCUIT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/186381    International Application No.:    PCT/EP2013/062427
Publication Date: 19.12.2013 International Filing Date: 14.06.2013
IPC:
H03H 7/40 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: ECOLE POLYTECHNIQUE [FR/FR]; Route de Saclay F-91120 Palaiseau (FR).
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3 rue Michel-Ange F-75016 Paris (FR)
Inventors: JOHNSON, Erik; (FR).
BOOTH, Jean-Paul; (FR)
Agent: REBOUSSIN, Yohann; Cabinet Orès 36 rue de Saint Pétersbourg F-75008 Paris (FR)
Priority Data:
12305684.8 15.06.2012 EP
Title (EN) ELECTRICAL CIRCUIT TO IMPEDANCE MATCH A SOURCE AND A LOAD AT MULTIPLE FREQUENCIES, METHOD TO DESIGN SUCH A CIRCUIT
(FR) CIRCUIT ÉLECTRIQUE POUR L'ADAPTATION DE L'IMPÉDANCE D'UNE SOURCE ET D'UNE CHARGE À PLUSIEURS FRÉQUENCES ET PROCÉDÉ DE CONCEPTION D'UN TEL CIRCUIT
Abstract: front page image
(EN)The invention concerns a matching circuit (3) to adapt electrical impedance simultaneously for at least one pair of a higher and a lower frequencies between a plasma reactor and a generator; said matching circuit comprises at least a "load and tune" L-type stage comprising: - a "tune circuit" (4) connected in series to the plasma reactor and comprising at least one of or both an inductor (LTune) and a capacitor (CTUne) in series, - a "load circuit" (5) connected in parallel to the series-connected "tune circuit" and load, and comprising at least one of or both an inductor (LLoad) and a capacitor (CLoad) in parallel, the component values of the tune and load circuits are chosen such that, for the lower frequency, the matching circuit follows a negative load reactance path in a Smith chart, and for the higher frequency, the matching circuit follows a positive load reactance path in the Smith chart. One of the components is adjustable or the higher frequency is a harmonic of the lower frequency. The design may be extended to enable such matching for multiple pairs of frequencies.
(FR)L'invention concerne un circuit d'adaptation (3) destiné à adapter l'impédance électrique simultanément pour au moins une paire d'une fréquence supérieure et d'une fréquence inférieure, entre un réacteur plasma et un générateur; ledit circuit d'adaptation comprend au moins un étage de type L « charge et accord » qui contient : - un « circuit d'accord » (4) connecté en série au réacteur plasma et comprenant un inducteur (LTune) et/ou un condensateur (CTUne) en série, - un « circuit de charge » (5) connecté en parallèle à la charge et au « circuit d'accord » connecté en série et comprenant un inducteur (LLoad) et/ou un condensateur (CLoad) en parallèle, les valeurs de composant des circuits d'accord et de charge étant choisies de sorte que, pour la fréquence inférieure, le circuit d'adaptation suive un trajet de réactance de charge négative dans un graphique de Smith et, pour la fréquence supérieure, que le circuit d'adaptation suive un trajet de réactance de charge positif dans le graphique de Smith. Un des composants est réglable ou la fréquence supérieure est un harmonique de la fréquence inférieure. La conception peut être étendue pour permettre une telle adaptation pour de multiples paires de fréquences.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)