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1. (WO2013163056) DIRECT CURRENT LAMP DRIVER FOR SUBSTRATE PROCESSING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/163056    International Application No.:    PCT/US2013/037521
Publication Date: 31.10.2013 International Filing Date: 22.04.2013
IPC:
H01L 21/324 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: SEREBRYANOV, Oleg; (US).
RANISH, Joseph M.; (US).
GOLDIN, Alexander; (US)
Agent: TABOADA, Alan; Moser Taboada 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Priority Data:
61/638,193 25.04.2012 US
61/707,488 28.09.2012 US
13/866,505 19.04.2013 US
Title (EN) DIRECT CURRENT LAMP DRIVER FOR SUBSTRATE PROCESSING
(FR) PILOTE DE LAMPE À COURANT CONTINU POUR TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)Methods and apparatus for heating a substrate in a process chamber are provided herein. In some embodiments, an apparatus for heating a substrate in a process chamber includes a lamp group comprising one or more sets of lamps to provide radiant energy to heat a substrate when disposed in the process chamber, wherein each set of lamps comprises a plurality of lamps wired in series, and wherein each set of lamps is wired in parallel with respect to other sets of the one or more sets of lamps; an alternating current (AC) power source to produce an AC input waveform; and a lamp driver to power the lamp group, the lamp driver including a rectifier coupled to the AC power source to convert the AC input waveform to DC voltage; and a direct current to direct current (DC/DC) converter to reduce voltage of the DC power.
(FR)Cette invention concerne des procédés et appareils de chauffage d'un substrat dans une chambre de traitement. Selon certains modes de réalisation, un appareil de chauffage d'un substrat dans une chambre de traitement comprend un groupe de lampes comprenant un ou plusieurs ensembles de lampes destinées à fournir une énergie de rayonnement afin de chauffer un substrat disposé dans la chambre de traitement. Chaque ensemble de lampes comprend une pluralité de lampes montées en série, et chaque ensemble de lampes est monté en dérivation par rapport aux autres ensembles parmi ledit/lesdits ensembles de lampes ; une source d'alimentation en courant alternatif (CA) destinée à produire une forme d'onde d'entrée de CA ; et un pilote de lampe pour alimenter le groupe de lampes, ledit pilote de lampe comprenant un redresseur couplé à la source d'alimentation en CA pour convertir la forme d'onde d'entrée de CA en une tension CC ; et un convertisseur courant continu/courant continu (CC/CC) conçu pour réduire la tension du CC.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)