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1. (WO2013162910) METHODS AND APPARATUS FOR MARANGONI SUBSTRATE DRYING USING A VAPOR KNIFE MANIFOLD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/162910    International Application No.:    PCT/US2013/036247
Publication Date: 31.10.2013 International Filing Date: 11.04.2013
IPC:
H01L 21/302 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: VELAZQUEZ, Edwin; (US).
D'AMBRA, Allen L.; (US).
ATKINSON, Jim; (US)
Agent: DUGAN, Brian M.; Dugan & Dugan, PC 245 Saw Mill River Road, Suite 309 Hawthorne, New York 10532 (US)
Priority Data:
13/458,824 27.04.2012 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR MARANGONI SUBSTRATE DRYING USING A VAPOR KNIFE MANIFOLD
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE SÉCHAGE MARANGONI DE SUBSTRAT AU MOYEN D'UN COLLECTEUR DE COUTEAU À VAPEUR
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides methods and apparatus for a Marangoni vapor knife assembly. The assembly includes a base having a channel extending longitudinally through the base and a plurality of passages extending laterally from the channel toward an outer face of the base, a top plate adapted to be removeably coupled to the base with an outer face flush with the outer face of the base, and a shim adapted to be disposed between the base and the top plate and further adapted to form a plurality of spray orifices in the assembly. Numerous additional features are disclosed.
(FR)La présente invention concerne des procédés ainsi qu'un appareil pour un ensemble de couteau à vapeur Marangoni. L'ensemble comprend une base comprenant un canal s'étendant longitudinalement à travers la base et une pluralité de passages s'étendant latéralement depuis le canal vers une face extérieure de la base, une plaque supérieure conçue pour être couplée de façon amovible à la base avec une face extérieure de niveau avec la face extérieure de la base, et une cale conçue pour être disposée entre la base et la plaque supérieure et conçue en outre pour former une pluralité d'orifices de pulvérisation dans l'ensemble. De nombreuses autres caractéristiques sont également décrites.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)