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1. (WO2013161858) CONTROLLER, STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND CONTROL METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/161858    International Application No.:    PCT/JP2013/062020
Publication Date: 31.10.2013 International Filing Date: 24.04.2013
IPC:
G05D 3/12 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventors: SAKATA Koichi; (JP)
Agent: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Priority Data:
2012-099129 24.04.2012 JP
Title (EN) CONTROLLER, STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND CONTROL METHOD
(FR) UNITÉ DE COMMANDE, DISPOSITIF À ÉTAGE, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE COMMANDE
(JA) 制御装置、ステージ装置、露光装置、及び制御方法
Abstract: front page image
(EN)A controller is provided with: a control object (P(s)) having a stage on which an object is placed, a first member, and a second member connected to the stage and capable of moving in relation to the first member; a first filter (1-BPF(s)) for feeding back information related to the stage position of the control object in a frequency range that does not include the main resonance frequency in the frequency characteristics of the control object; and a second filter (BPF(s)) for feeding back information related to the position of the second member in a frequency range including the main resonance frequency in the frequency characteristics of the control object.
(FR)L'invention concerne une unité de commande dotée : d'un objet de commande (P(s)) ayant un étage sur lequel un objet est placé, un premier organe, et un second organe raccordé à l'étage et capable de se déplacer par rapport au premier organe ; un premier filtre (1-BPF(s)) destiné à faire remonter les informations concernant la position d'étage de l'objet de commande dans une plage de fréquences qui ne comprend pas la fréquence de résonance principale dans les caractéristiques de fréquence de l'objet de commande ; et un second filtre (BPF(s)) destiné à faire remonter les informations concernant la position du second organe dans une plage de fréquences comprenant la fréquence de résonance principale dans les caractéristiques de fréquence de l'objet de commande.
(JA) 制御装置は、物体を載置するステージと第1部材とステージに接続され第1部材に対して移動可能な第2部材とを有する制御対象物(P(s))と、制御対象物の周波数特性における主共振周波数を含まない周波数域で制御対象物のステージの位置に関する情報をフィードバックする第1フィルタ(1-BPF(s))と、制御対象物の周波数特性における主共振周波数を含む周波数域で第2部材の位置に関する情報をフィードバックする第2フィルタ(BPF(s))と、を備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)