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1. (WO2013161772) FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/161772    International Application No.:    PCT/JP2013/061810
Publication Date: 31.10.2013 International Filing Date: 22.04.2013
IPC:
H01L 21/312 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/768 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: SUGITA, Kippei; (JP).
HASHIMOTO, Hiroyuki; (JP).
HARADA, Muneo; (JP)
Agent: ITOH, Tadashige; 16th Floor, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Seimei Building), 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2012-102609 27.04.2012 JP
2013-020057 05.02.2013 JP
2013-027972 15.02.2013 JP
Title (EN) FILM-FORMING METHOD AND FILM-FORMING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜方法及び成膜装置
Abstract: front page image
(EN)A film-forming method of the present invention involves the following: supplying a first raw gas material composed of an acid anhydride and a second raw gas material composed of a diamine into an evacuated treatment vessel which holds a body to be treated; forming an insulating film composed of a polymer thin-film on the surface of the body to be treated; stopping the supply of the second raw gas material to the treatment vessel and continuing to supply the first raw gas material into the treatment vessel; and imparting a barrier function to the insulating film by reforming the insulating film. DRAWING: FIG. 4: S1 First step [Formation of polyimide film] (synchronous supply of PMDA and ODA) S2 Second step [Reforming treatment] (supply of PMDA) AA Film-forming method BB End
(FR)La présente invention a trait à un procédé de formation de film qui comprend les étapes suivantes consistant : à fournir une première matière première gazeuse qui est constituée d'un anhydride d'acide et une seconde matière première gazeuse qui est constituée d'une diamine dans une cuve de traitement sous vide qui contient un corps devant être traité; à former un film isolant qui est constitué d'une couche mince de polymère sur la surface du corps devant être traité; à arrêter la fourniture de la seconde matière première gazeuse à la cuve de traitement et à poursuivre la fourniture de la première matière première gazeuse dans la cuve de traitement; et à communiquer une fonction de barrière au film isolant en reformant le film isolant.
(JA) 成膜方法は、被処理体を収容し、真空引きされた処理容器内に酸無水物よりなる第1の原料ガスとジアミンよりなる第2の原料ガスとを供給し、被処理体の表面に高分子薄膜よりなる絶縁膜を形成し、次いで、前記処理容器内への第2の原料ガスの供給を停止すると共に第1の原料ガスを前記処理容器内に引き続き供給し、絶縁膜を改質することにより絶縁膜にバリア機能を持たせる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)