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1. (WO2013161539) CHARGED PARTICLE BEAM ADJUSTMENT ASSISTANCE DEVICE AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/161539    International Application No.:    PCT/JP2013/060387
Publication Date: 31.10.2013 International Filing Date: 04.04.2013
IPC:
H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/24 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: FUKAYA Naohiko; (JP).
KITAGAWA Kenji; (JP).
YAGI Masakazu; (JP).
HIRATSUKA Yukie; (JP).
KOTAKE Wataru; (JP)
Agent: POLAIRE I.P.C.; 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032 (JP)
Priority Data:
2012-102783 27.04.2012 JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM ADJUSTMENT ASSISTANCE DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D'ASSISTANCE À L'AJUSTEMENT D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線調整支援装置および方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a charged particle beam adjustment assistance device with which an adjustment operation of a charged particle beam device which has a three-dimensional observation function is assisted, and it is possible to minimize manual work and man-hours required for adjustment value input. An adjustment value acquisition unit generates an optimal three-dimensional adjustment value information, on the basis of two-dimensional adjustment value information which is generated on the basis of information which is inputted from a charged particle beam adjuster terminal and two-dimensional - three-dimensional adjustment value correspondence information, transmits same to, and sets same upon, a charged particle beam device. Accordingly, a charged particle beam adjuster is able to minimize an adjustment operation which is necessary to three-dimensional observation, and is able to easily carry out an observation operation of a three-dimensional image.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'assistance à l'ajustement d'un faisceau de particules chargées grâce auquel une opération d'ajustement d'un dispositif à faisceau de particules chargées qui possède une fonction d'observation tridimensionnelle est facilitée et grâce auquel il est possible de rendre minimal le travail manuel et les heures de travail nécessaires pour une valeur d'ajustement d'entrée. Une unité d'acquisition de valeur d'ajustement produit des informations optimales de valeur d'ajustement tridimensionnel, en fonction des informations de valeur d'ajustement bidimensionnel qui sont produites d'après des informations qui proviennent d'un terminal d'ajustement de faisceau de particules chargées et d'informations de correspondance des valeurs d'ajustement bidimensionnel et tridimensionnel, et les transmet à un dispositif à faisceau de particules chargées pour le paramétrer. En conséquence, un ajusteur de faisceau de particules chargées est apte à rendre minimale l'opération d'ajustement qui est nécessaire pour une observation tridimensionnelle et est apte à réaliser facilement une opération d'observation sur une image tridimensionnelle.
(JA) 3次元観察機能を持つ荷電粒子線装置の調整作業を支援し、調整値入力に要する人手工数を低減することができる荷電粒子線調整支援装置を提供する。 調整値取得部は、荷電粒子線調整者端末から入力される情報に基づき生成される2次元調整値情報、2次元-3次元調整値対応情報に基づいて、最適な3次元調整値情報を生成し、荷電粒子線装置に送信、設定する。従って、荷電粒子線調整者は、3次元観察に必要な調整作業を低減することができ、3次元画像の観察作業を容易に行うことができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)