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1. (WO2013161186) VARIABLE ORIFICE TYPE PRESSURE-CONTROLLED FLOW RATE CONTROLLER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/161186    International Application No.:    PCT/JP2013/002244
Publication Date: 31.10.2013 International Filing Date: 01.04.2013
IPC:
G05D 7/06 (2006.01), F16K 7/16 (2006.01), F16K 31/04 (2006.01), F16K 31/524 (2006.01)
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012 (JP)
Inventors: DOHI, Ryousuke; (JP).
NISHINO, Kouji; (JP).
SAWADA, Yohei; (JP).
IKEDA, Nobukazu; (JP)
Agent: SUGIMOTO, Takeo; Toa Bldg., 5-7, Minami-honmachi 4-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5410054 (JP)
Priority Data:
2012-101662 26.04.2012 JP
Title (EN) VARIABLE ORIFICE TYPE PRESSURE-CONTROLLED FLOW RATE CONTROLLER
(FR) CONTRÔLEUR DE DÉBIT COMMANDÉ PAR PRESSION DE TYPE À ORIFICE VARIABLE
(JA) 可変オリフィス型圧力制御式流量制御器
Abstract: front page image
(EN)This variable orifice type pressure-controlled flow rate controller is provided with a pressure control unit and a variable orifice unit. The flow rate of a fluid flowing through the orifice of the variable orifice unit is calculated as QP1 = KP1 (wherein, P1 represents the pressure on the upstream side of the orifice, K is a constant). The orifice comprises a ring-shaped space formed between the valve seat and the diaphragm of a direct touch type metal diaphragm valve. Switching of the flow rate control range and control of the flow rate within the flow rate control range are achieved by varying the set flow rate signal Qs sent to the flow rate computation control unit of the pressure control unit and the orifice opening degree setting signal Qz sent to the orifice opening degree computation control unit of the variable orifice unit. In this controller, the variable orifice unit comprises an orifice opening degree computation control unit, a stepping motor driven by the orifice control signal sent from the orifice opening degree computation control unit, an eccentric cam rotated by the stepping motor, and a direct touch type metal diaphragm valve that controls the valve opening degree via a diaphragm presser by using the eccentric cam.
(FR)La présente invention porte sur un contrôleur de débit commandé par pression de type à orifice variable, qui comprend une unité de commande de pression et une unité d'orifice variable. Le débit d'un fluide s'écoulant à travers l'orifice de l'unité d'orifice variable est calculé en tant que QP1 = KP1 (P1 représentant la pression sur le côté amont de l'orifice, K étant une constante). L'orifice comprend un espace en forme d'anneau formé entre le siège de soupape et la membrane d'une vanne à membrane métallique de type à contact direct. La commutation de la plage de commande de débit et la commande du débit à l'intérieur de la plage de commande de débit sont atteintes par variation du signal de débit réglé Qs envoyé à l'unité de commande de calcul de débit de l'unité de commande de pression et du signal de réglage de degré d'ouverture d'orifice Qz envoyé à l'unité de commande de calcul de degré d'ouverture d'orifice de l'unité d'orifice variable. Dans le contrôleur de la présente invention, l'unité d'orifice variable comprend une unité de commande de calcul de degré d'ouverture d'orifice, un moteur pas à pas entraîné par le signal de commande d'orifice envoyé depuis l'unité de commande de calcul de degré d'ouverture d'orifice, une came excentrée mise en rotation par le moteur pas à pas et une vanne à membrane métallique de type à contact direct qui commande le degré d'ouverture de vanne par l'intermédiaire d'un élément de pression de membrane à l'aide de la came excentrée.
(JA)圧力制御部と可変オリフィス部とを備え、可変オリフィス部のオリフィスを流通する流体の流量をQP1=KP1(但し、P1はオリフィス上流側圧力、Kは定数)として演算すると共に、前記オリフィスをダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁の弁座とダイヤフラム間のリング状の間隙から成るオリフィスとし、前記圧力制御部の流量演算制御部への設定流量信号Qs及び可変オリフィス部のオリフィス開度演算制御部へのオリフィス開度設定信号Qzの変更により流量制御範囲の切換並びに当該流量制御範囲に於ける流量制御を行うようにした可変オリフィス型圧力制御式流量制御器に於いて、前記可変オリフィス部を、オリフィス開度演算制御部と、オリフィス開度演算制御部からのオリフィス制御信号により駆動されるステッピングモータと、ステッピングモータにより回動される偏芯カムと、偏芯カムによりダイヤフラム押えを介して弁開度を制御するダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁とから構成する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)