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1. (WO2013159584) MICRO-MECHANICAL MAGNETIC FIELD SENSOR AND PREPARATION METHOD THEREOF
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Pub. No.: WO/2013/159584 International Application No.: PCT/CN2013/071251
Publication Date: 31.10.2013 International Filing Date: 01.02.2013
IPC:
G01R 33/028 (2006.01) ,G01R 3/00 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
028
Electrodynamic magnetometers
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
3
Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of measuring instruments
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
C
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1
Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
Applicants:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 SHANGHAI INSTITUTE OF MICROSYSTEM AND INFORMATION TECHNOLOGY,CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN/CN]; 中国上海市 长宁区长宁路865号 No.865,Changning Road, Changning District Shanghai 200050, CN
Inventors:
熊斌 XIONG, Bin; CN
吴国强 WU, Guoqiang; CN
徐德辉 XU, Dehui; CN
王跃林 WANG, Yuelin; CN
Agent:
上海光华专利事务所 J.Z.M.C PATENT AND TRADEMARK LAW OFFICE; 中国上海市 杨浦区国定路335号5022室余明伟 YU Mingwei,Room 5022, No.335,GUO Ding Road, YANG Pu district Shanghai 200433, CN
Priority Data:
201210134030.228.04.2012CN
Title (EN) MICRO-MECHANICAL MAGNETIC FIELD SENSOR AND PREPARATION METHOD THEREOF
(FR) CAPTEUR DE CHAMP MAGNÉTIQUE MICROMÉCANIQUE ET SON PROCÉDÉ DE PRÉPARATION
(ZH) 一种微机械磁场传感器及其制备方法
Abstract:
(EN) A micro-mechanical magnetic field sensor and a preparation method thereof relate to the field of micro-electro-mechanical systems. The preparation method comprises: manufacturing a metal coil (40) and pads (310, 311, 5) on a device structure layer; manufacturing a device structure by dry etching; and releasing the device structure to form a harmonic oscillator (6). The harmonic oscillator (6) of the micro-mechanical magnetic field sensor operates in an extension mode, so that the induced electromotive force generated by each section of metal cutting the magnetic induction line on the metal coil (40) can be superposed, thereby enhancing the intensity of an output signal. Moreover, the micro-mechanical magnetic field sensor has the advantages of low power consumption, a simple driving/detection circuit, slight influence by temperature, a simple process and the like, and has a high industrial value.
(FR) La présente invention concerne un capteur de champ magnétique micromécanique et son procédé de préparation appartenant au domaine des systèmes micro-électromécanique. Le procédé de préparation comprend les étapes consistant à : fabriquer une bobine métallique (40) et des coussins (310, 311, 5) sur une couche de structure de dispositif ; fabriquer une structure de dispositif par gravure à sec ; et libérer la structure de dispositif pour former un oscillateur harmonique (6). L'oscillateur harmonique (6) du capteur de champ magnétique micromécanique fonctionne dans un mode d'extension, de sorte que la force électromotrice induite générée par chaque partie de métal coupant la ligne d'induction magnétique sur la bobine métallique (40) puisse être superposée, augmentant ainsi l'intensité d'un signal de sortie. De plus, le capteur de champ magnétique micromécanique présente les avantages d'une faible consommation électrique, d'un circuit de détection/d'attaque simple, d'une légère influence par la température, d'un procédé simple et analogues, et possède une valeur industrielle élevée.
(ZH) 一种微机械磁场传感器及其制备方法,属于微机电系统领域。该制备方法通过在器件结构层上制作出金属线圈(40)及焊盘(310,311,5),然后利用干法刻蚀制作出器件结构,并将器件结构进行释放以形成谐振振子(6)。该微机械磁场传感器的谐振振子(6)工作在扩张模态,因而金属线圈(40)上每小段金属切割磁感线产生感应电动势会相互叠加,增强了输出信号的强度。此外,该微机械磁场传感器具有低功耗、驱动-检测电路简单、受温度影响小以及工艺简单等优点,具有高度的产业价值。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)