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1. (WO2013158994) ISOTROPICALLY-ETCHED CAVITIES FOR EVANESCENT-MODE ELECTROMAGNETIC-WAVE CAVITY RESONATORS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/158994    International Application No.:    PCT/US2013/037368
Publication Date: 24.10.2013 International Filing Date: 19.04.2013
Chapter 2 Demand Filed:    17.09.2013    
IPC:
H01P 1/208 (2006.01), H01P 7/06 (2006.01), H01P 11/00 (2006.01)
Applicants: QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 5775 Morehouse Drive San Diego, California 92121-1714 (US)
Inventors: STEPHANOU, Philip Jason; (US).
PARK, Sang-June; (US).
SHENOY, Ravindra V.; (US)
Agent: DONNELLY, Kevin M.; Weaver Austin Villeneuve & Sampson LLP P.O. Box 70250 Oakland, California 94612-0250 (US)
Priority Data:
13/451,385 19.04.2012 US
Title (EN) ISOTROPICALLY-ETCHED CAVITIES FOR EVANESCENT-MODE ELECTROMAGNETIC-WAVE CAVITY RESONATORS
(FR) CAVITÉS GRAVÉES DE MANIÈRE ISOTROPE POUR RÉSONATEURS À CAVITÉ POUR ONDES ÉLECTROMAGNÉTIQUES EN MODE ÉVANESCENT
Abstract: front page image
(EN)This disclosure provides implementations of electromechanical systems (EMS) resonator structures, devices, apparatus, systems, and related processes. In one aspect, a device includes an evanescent-mode electromagnetic-wave cavity resonator. In some implementations, the resonator includes an isotropically-etched cavity operable to support one or more evanescent electromagnetic wave modes. In some implementations, the resonator also includes a cavity ceiling arranged to form a volume in conjunction with the isotropically-etched cavity. In some implementations, the resonator also includes a capacitive tuning structure having a portion that is located at least partially within the volume so as to support the evanescent electromagnetic wave modes. In some implementations, a distal surface of the tuning structure is separated from the closest surface to it by a gap distance, a resonant electromagnetic wave mode of the cavity resonator being dependent at least partially on the gap distance.
(FR)L'invention concerne des mises en œuvre de structures, de dispositifs, d'appareils, de systèmes et de processus correspondants pour des résonateurs à systèmes électromécaniques (EMS). Selon un aspect, un dispositif comprend un résonateur à cavité pour ondes électromagnétiques en mode évanescent. Dans certaines mises en œuvre, le résonateur comprend une cavité gravée de manière isotrope apte à supporter un ou plusieurs modes d'ondes électromagnétiques évanescentes. Dans certaines mises en œuvre, le résonateur comprend également un plafond de cavité agencé pour former un volume en association avec la cavité gravée de manière isotrope. Dans certaines mises en œuvre, le résonateur comprend également une structure capacitive d'accord dont une partie est située au moins partiellement dans le volume, afin de supporter les modes à ondes électromagnétiques évanescentes. Dans certaines mises en œuvre, une surface distale de la structure capacitive d'accord est séparée d'une surface la plus proche par un écartement, le mode d'ondes électromagnétiques évanescentes du résonateur à cavité dépendant au moins en partie de l'écartement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)