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1. (WO2013158210) HETEROGENEOUS MATERIAL INTEGRATION THROUGH GUIDED LATERAL GROWTH
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/158210    International Application No.:    PCT/US2013/026743
Publication Date: 24.10.2013 International Filing Date: 19.02.2013
IPC:
C30B 25/04 (2006.01)
Applicants: YALE UNIVERSITY [US/US]; Two Whitney Avenue New Haven, CT 06570 (US)
Inventors: HAN, Jung; (US)
Agent: MORRIS, James H.; Wolf, Greenfield & Sacks, P.C. 600 Atlantic Avenue Boston, Massachusetts 02210-2206 (US)
Priority Data:
61/600,413 17.02.2012 US
61/678,927 02.08.2012 US
Title (EN) HETEROGENEOUS MATERIAL INTEGRATION THROUGH GUIDED LATERAL GROWTH
(FR) INTÉGRATION DE MATÉRIAU HÉTÉROGÈNE PAR CROISSANCE LATÉRALE GUIDÉE
Abstract: front page image
(EN)Methods are provided for generating a crystalline material. The methods comprise depositing a textured thin film in a growth seed area, wherein the textured thin film has a preferential crystallographic axis; providing a growth channel extending from the growth seed area, the growth channel permitting guided lateral growth; and growing a crystalline material in the growth channel along a direction that is substantially perpendicular to the preferential crystallographic axis of the textured thin film. A preferred crystalline material is gallium nitride, and preferred textured thin films are aluminum nitride and titanium nitride.
(FR)L'invention concerne des procédés pour générer un matériau cristallin. Les procédés consistent : à déposer un film mince texturé dans une zone de germe de croissance, le film mince texturé présentant un axe cristallographique préférentiel ; à utiliser un canal de croissance qui s'étend à partir de la zone de germe de croissance, le canal de croissance permettant d'assurer une croissance latérale guidée ; et à faire croître un matériau cristallin dans le canal de croissance le long d'une direction qui est sensiblement perpendiculaire à l'axe cristallographique préférentiel du film mince texturé. Un matériau cristallin préféré est le nitrure de gallium, et les films minces texturés préférés sont en nitrure d'aluminium et en nitrure de titane.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)