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1. (WO2013157462) ACCOMMODATING CONTAINER, SHUTTER OPENING AND CLOSING UNIT FOR ACCOMMODATING CONTAINER, AND WAFER STOCKER USING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/157462    International Application No.:    PCT/JP2013/060838
Publication Date: 24.10.2013 International Filing Date: 10.04.2013
IPC:
H01L 21/673 (2006.01)
Applicants: RORZE CORPORATION [JP/JP]; 1588-2,Aza-Michinoue, Kannabe-cho, Fukuyama-shi, Hiroshima 7202104 (JP)
Inventors: SAKIYA, Fumio; (JP).
SAKATA, Katsunori; (JP)
Agent: MATSUSHITA, Makoto; Apuri Shinyokohama Building 5F., 2-5-19, Shinyokohama, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2220033 (JP)
Priority Data:
2012-093247 16.04.2012 JP
Title (EN) ACCOMMODATING CONTAINER, SHUTTER OPENING AND CLOSING UNIT FOR ACCOMMODATING CONTAINER, AND WAFER STOCKER USING SAME
(FR) RÉCIPIENT DE CONTENANCE, UNITÉ D'OUVERTURE ET DE FERMETURE À OBTURATEUR POUR RÉCIPIENT DE CONTENANCE, ET DISPOSITIF DE STOCKAGE DE TRANCHES LES UTILISANT
(JA) 収納容器、収納容器のシャッター開閉ユニット、及びこれらを用いたウエハストッカー
Abstract: front page image
(EN)Provided is a wafer stocker in which external atmosphere inflow can be prevented, a prescribed atmosphere can be maintained in a way for accommodating space with a comparatively small amount of a gas, and in which it is possible to prevent dust and grit from adhering to the surfaces of wafers. Shutter parts formed from a plurality of shielding plates having a height dimension the same as the spacing of shelves disposed within an accommodating container are disposed with a minute gap opened with a main body part. By supplying a clean gas to the inside of the accommodating container, a clean atmosphere with higher pressure than the outside environment is maintained, and also the shutter part is opened and closed by moving the shielding plates up and down independently of the shelves that support wafers.
(FR)L'invention porte sur un dispositif de stockage de tranches dans lequel un écoulement d'entrée de l'atmosphère externe peut être empêché, une atmosphère prescrite peut être maintenue de telle sorte qu'un espace de réception ait une quantité comparativement faible d'un gaz, et dans lequel il est possible d'empêcher de la poussière et des particules d'adhérer aux surfaces de tranches. Des parties d'obturateur formées à partir d'une pluralité de plaques de blindage ayant une dimension de hauteur identique à l'espacement d'étagères disposées à l'intérieur d'un récipient de contenance sont disposées avec un minuscule espace ouvert avec une partie corps principale. En dirigeant un gaz propre à l'intérieur du récipient de contenance, une atmosphère propre avec une pression supérieure à celle de l'environnement externe est maintenue, et, également, la partie d'obturateur est ouverte et fermée par déplacement des plaques de blindage vers le haut et vers le bas indépendamment des étagères qui supportent des tranches.
(JA)外部雰囲気の流入を防止し比較的少量の気体によってウエハ収納空間を所望の雰囲気に維持することが可能で、且つウエハ表面への塵埃の付着を防止することが可能なウエハストッカーを提供する。 収納容器内部に配置された棚板の間隔と同じ高さ寸法を有する複数の遮蔽板からなるシャッター部を本体部に対して微少な隙間を開けて配置し、収納容器内部に清浄な気体を供給することで外部環境よりも高圧な清浄雰囲気に維持するとともに、ウエハを支持する棚板とは独立して遮蔽板を上下動させることによりシャッター部を開閉する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)