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1. (WO2013156323) INSPECTION ARRANGEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/156323    International Application No.:    PCT/EP2013/057180
Publication Date: 24.10.2013 International Filing Date: 05.04.2013
Chapter 2 Demand Filed:    12.02.2014    
IPC:
G01N 21/95 (2006.01)
Applicants: HSEB DRESDEN GMBH [DE/DE]; Manfred-von-Ardenne-Ring 4 01099 Dresden (DE)
Inventors: SROCKA, Bernd; (DE).
LANGHANS, Ralf; (DE)
Agent: WEISSE, Renate; Bleibtreustr. 38 10623 Berlin (DE)
Priority Data:
10 2012 103 428.1 19.04.2012 DE
Title (DE) INSPEKTIONSANORDNUNG
(EN) INSPECTION ARRANGEMENT
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION
Abstract: front page image
(DE)Eine Anordnung zum Untersuchen einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche eines Wafers oder anderen Objekte, enthaltend einen Halter zum Halten des Objekts; eine im Bereich vor der zu untersuchenden Oberfläche beabstandet angeordnete Inspektionsanordnung; und eine Messanordnung zur Bestimmung des Abstands und/oder der Neigung der Oberfläche zur Inspektionsanordnung; gekennzeichnet durch eine Strahlungsquelle, deren Strahlung unter einem Winkel auf die zu untersuchende Oberfläche gelenkt wird; und einen ortsauflösenden Detektor zur Aufnahme der von der zu untersuchenden Oberfläche reflektierten Strahlung aus der Strahlungsquelle, wobei die Strahlungsquelle und der Detektor außerhalb des für die Inspektion erforderlichen Bereichs zwischen Inspektionsanordnung und zu untersuchender Oberfläche angeordnet sind.
(EN)The invention relates to an arrangement for analysing an at least partially reflective surface of a wafer or other objects, containing a holder for holding the object; an inspection arrangement arranged at a distance in the region in front of the surface to be analysed; and a measurement arrangement for determining the distance and/or inclination of the surface for the inspection arrangement; characterised by a radiation source, the radiation of which is directed towards the surface to be analysed at an angle; and a spatially resolving detector for receiving the radiation from the radiation source that is reflected from the surface to be analysed, wherein the radiation source and the detector are arranged outside the region necessary for the inspection between the inspection arrangement and the surface to be analysed.
(FR)L'invention concerne un système pour l'examen d'une surface au moins partiellement réfléchissante d'une plaquette ou d'autres objets, comprenant un support pour le maintien de l'objet, un système d'inspection placé à distance, dans une zone devant la surface à examiner, et un système de mesure pour la détermination de la distance et/ou de l'inclinaison de la surface par rapport au système d'inspection. Ce système est caractérisé par une source de rayonnement dont le rayonnement est dirigé selon un angle sur la surface à examiner. Il comprend en outre un détecteur à résolution locale pour l'absorption du rayonnement provenant de la source de rayonnement et réfléchi par la surface à examiner. La source de rayonnement et le détecteur sont disposés à l'extérieur de la zone nécessaire pour l'inspection et située entre le système d'inspection et la surface à examiner.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)