WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2013154067) INSPECTION DEVICE AND IMAGE CAPTURE ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/154067    International Application No.:    PCT/JP2013/060600
Publication Date: 17.10.2013 International Filing Date: 08.04.2013
Chapter 2 Demand Filed:    04.12.2013    
IPC:
G01N 21/956 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: JINGU Takahiro; (JP)
Agent: HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232 (JP)
Priority Data:
2012-088733 09.04.2012 JP
Title (EN) INSPECTION DEVICE AND IMAGE CAPTURE ELEMENT
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION ET ÉLÉMENT DE CAPTURE D'IMAGE
(JA) 検査装置、及び撮像素子
Abstract: front page image
(EN)Each sensor pixel of an image capture element, which is configured by arraying a plurality of sensor pixels in a prescribed direction, is inclined with respect to a pass-through direction of a defect image in which, among a plurality of sensor pixel boundary sides which form an outer edge part of the sensor pixel, at least one of a pair of sensor pixel boundary sides which are mutually opposing in the array direction is perpendicular to a prescribed direction. It is thus possible to provide an inspection device with which highly sensitive inspection and/or improvement of reproducibility of defect detection is effected.
(FR)Chaque pixel capteur d'un élément de capture d'image, qui est configuré en organisant en réseau une pluralité de pixels capteurs dans une direction prédéterminée, est incliné par rapport à une direction passante d'une image de défaut dans laquelle, parmi une pluralité de côtés limites de pixel capteur qui forment une partie bord extérieur du pixel capteur, au moins un côté limite d'une paire de côtés limites de pixel capteur opposés mutuellement dans la direction du réseau est perpendiculaire à une direction prédéterminée. Il est ainsi possible de fournir un dispositif d'inspection pour lequel on peut effectuer une inspection extrêmement sensible et/ou améliorer la reproductibilité de la détection de défaut.
(JA) 複数のセンサ画素を所定方向に配列して構成された撮像素子の各センサ画素を、センサ画素の外縁部を形成する複数のセンサ画素境界辺の中、配列方向に相対向する一対のセンサ画素境界辺の中の少なくとも一方が、所定方向に対して垂直な、欠陥像の通過方向に対して傾斜させる。これにより高感度な検査、及び/又は欠陥の検出再現性の向上をはかった検査装置を提供することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)