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1. (WO2013153965) LIQUID IMMERSION MEMBER AND EXPOSURE APPARATUS
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Pub. No.: WO/2013/153965 International Application No.: PCT/JP2013/059432
Publication Date: 17.10.2013 International Filing Date: 22.03.2013
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION[JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP
Inventors: SATO Shinji; JP
Agent: SHIGA Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620, JP
Priority Data:
13/800,44813.03.2013US
61/622,18210.04.2012US
Title (EN) LIQUID IMMERSION MEMBER AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) ÉLÉMENT D'IMMERSION LIQUIDE ET APPAREIL D'EXPOSITION
Abstract: front page image
(EN) A liquid immersion member (5) forms a liquid immersion space (15) on an object (P) which is movable below an optical member (13) so that an optical path (K) of exposure light (EL) emitted from an emitting surface (12) of the optical member is filled with liquid (LQ). The liquid immersion member includes a first member (21) that has a first lower surface (24), a second member (22) that has a second upper surface (25) which faces the first lower surface via a gap and a second lower surface (26) which the object is able to face, and that is movable with respect to the first member, and a recovery part (23) that recovers at least a portion of a liquid from a second space (SP2), which is between the second lower surface and the object, at an outside of the second lower surface with respect to the optical path.
(FR) La présente invention porte sur un élément d'immersion liquide (5) qui forme un espace d'immersion liquide (15) sur un objet (P) qui est mobile au-dessous d'un élément optique (13) de telle sorte qu'un trajet optique (K) d'une lumière d'exposition (EL) émise par une surface d'émission (12) de l'élément optique est rempli avec un liquide (LQ). L'élément d'immersion liquide comprend un premier élément (21) qui a une première surface inférieure (24), un second élément (22) qui a une seconde surface supérieure (25) qui est tournée vers la première surface inférieure par l'intermédiaire d'un intervalle et une seconde surface inférieure (26) vers laquelle l'objet est apte à être tourné, et qui est mobile par rapport au premier élément, et une partie de récupération (23) qui récupère au moins une partie d'un liquide provenant d'un second espace (SP2), qui est entre la seconde surface inférieure et l'objet, au niveau d'un extérieur de la seconde surface inférieure par rapport au trajet optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)