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1. (WO2013153744) MOBILE BODY DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/153744    International Application No.:    PCT/JP2013/001780
Publication Date: 17.10.2013 International Filing Date: 15.03.2013
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventors: MORIMOTO, Shigeru; (JP)
Agent: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
Priority Data:
2012-091506 13.04.2012 JP
Title (EN) MOBILE BODY DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
(FR) DISPOSITIF À CORPS MOBILE, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF
(JA) 移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法
Abstract: front page image
(EN)A stage device is provided with: stages (WST, MST) capable of moving along an XY flat surface on a stage base; a first and second magnet unit (51A, 51B) disposed on the respective stages (WST, MST); and a flat surface motor which has a coil unit (60) containing multiple coils arranged in a two-dimensional manner on the stage base, and which drives the stages (WST, MST) by means of the drive force generated by means of the electromagnetic interaction between the magnetic units (51A, 51B). The layout of the magnets on the coils (38) constituting the coil unit is determined such that the magnets constituting magnet unit (51A) and the magnets constituting magnet unit (51B) do not face one another at the same time when the stages (WST, MST) are in contact with one another or are next to one another within a predetermined distance relative to the Y axis direction on the stage base.
(FR)L'invention porte sur un dispositif à platines qui comprend : des platines (WST, MST) pouvant se déplacer le long d'une surface plate XY sur une base de platine ; des première et seconde unités à aimants (51A, 51B) disposées sur les platines respectives (WST, MST) ; et un moteur de surface plate qui comporte une unité à bobines (60) contenant de multiples bobines agencées d'une manière bidimensionnelle sur la base de platine, et qui entraîne les platines (WST, MST) au moyen de la force motrice générée par l'interaction électromagnétique entre les unités magnétiques (51A, 51B). La disposition des aimants sur les bobines (38) constituant l'unité à bobines est déterminée de manière que les aimants constituant l'unité à aimants (51A) et les aimants constituant l'unité à aimants (51B) ne soient pas l'un en face de l'autre en même temps lorsque les platines (WST, MST) sont en contact l'une avec l'autre ou sont proches l'une de l'autre à moins d'une distance prédéterminée dans la direction d'axe Y sur la base de platine.
(JA) ステージ装置は、ステージベース上でXY平面に沿って移動可能なステージ(WST、MST)と、ステージ(WST、MST)のそれぞれに設けられた第1及び第2の磁石ユニット(51A、51B)と、ステージベースに2次元配列された複数のコイルを含むコイルユニット(60)を有し、磁石ユニット(51A、51B)との間の電磁相互作用によって発生する駆動力によりステージ(WST、MST)を駆動する平面モータと、を備えている。ステージ(WST、MST)が、ステージベース上でY軸方向に関して互いに所定距離以内に近接又は接触する状態にある状態では、コイルユニットを構成する同一のコイル(38)に、磁石ユニット(51A)を構成する磁石と磁石ユニット(51B)を構成する磁石とが同時に対向しないように磁石のレイアウトが定められている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)