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1. (WO2013152901) MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/152901    International Application No.:    PCT/EP2013/054428
Publication Date: 17.10.2013 International Filing Date: 05.03.2013
IPC:
G01L 13/02 (2006.01), G01L 19/06 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart (DE)
Inventors: SCHELLING, Christoph; (DE).
HAS, Remigius; (DE)
Priority Data:
102012205878.8 11.04.2012 DE
Title (DE) MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR
(EN) MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drucksensor mit einem hochdynamischen Messbereich. Der Drucksensor weist zwei druckempfindliche, geschlossene Sensormembranen auf, wobei jede der beiden Sensormembranen an ein eigenes Druckreservoir gekoppelt werden kann, und eine zwischen den Sensormembranen angeordnete Anschlagsvorrichtung mit folgenden Elementen: ein Verankerungselement zum Verankern der Anschlagsvorrichtung an wenigstens einer der Sensormembranen; wenigstens ein die beiden Sensormembranen im Wesentlichen starr verbindendes Koppelelement; Stützelemente, mit denen eine der Sensormembranen bei einer definierten geometrischen Auslenkung kontaktierbar ist; und ein Dichtelement zum Abdichten der Anschlagsvorrichtung. Durch die im Wesentlichen starre Kopplung der beiden Sensormembranen entfällt vorteilhaft eine Subtraktion von einzelnen Absolutdruckwerten.
(EN)The invention creates a micromechanical pressure sensor having a highly dynamic measurement range. The pressure sensor has two pressure-sensitive, closed sensor diaphragms, wherein each of the two sensor diaphragms can be coupled to an individual pressure reservoir, and a stop device arranged between the sensor diaphragms and having the following elements: an anchoring element for anchoring the stop device to at least one sensor diaphragm; at least one coupling element connecting the two sensor diaphragms substantially rigidly; supporting elements, with which contact can be made with one of the sensor diaphragms in the event of a defined geometric deflection; and a sealing element for sealing off the stop device. As a result of the substantially rigid coupling of the two sensor diaphragms, subtraction of individual absolute pressure values is advantageously dispensed with.
(FR)La présente invention concerne un capteur de pression micromécanique avec une plage de mesure à dynamique élevée. Le capteur de pression comprend deux membranes de détection fermées sensibles à la pression, chacune des deux membranes de détection pouvant être couplée à son propre réservoir de pression, et un élément de butée disposé entre les membranes de détection avec les éléments suivants : un élément d'ancrage pour ancrer l'élément de butée sur au moins une des membranes de détection ; au moins un élément d'accouplement sensiblement rigide reliant les deux membranes de détection ; des éléments d'appui avec lesquels l'une des membranes de détection peut être mise en contact avec une déviation géométrique définie ; et un élément d'étanchéité pour assurer l'étanchéité du dispositif de butée d'appui. Grâce à l'accouplement sensiblement rigide des deux membranes de détection, aucune soustraction de chacune des valeurs absolues de pression n'est nécessaire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)