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1. (WO2013148446) SCANNING INJECTOR ASSEMBLY MODULE FOR PROCESSING SUBSTRATE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/148446    International Application No.:    PCT/US2013/033208
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 21.03.2013
IPC:
C23C 16/00 (2006.01)
Applicants: VEECO ALD INC. [US/US]; 3191 Laurelview Court Fremont, CA 94538 (US)
Inventors: PAK, Samuel, S.; (US).
LEE, Sang In; (US).
LEE, Ilsong; (US).
YANG, Hyo Seok; (US)
Agent: AHN, Dohyun; Fenwick & West LLP Silicon Valley Center 801 California Street Mountain View, CA 94041 (US)
Priority Data:
61/617,525 29.03.2012 US
Title (EN) SCANNING INJECTOR ASSEMBLY MODULE FOR PROCESSING SUBSTRATE
(FR) MODULE D'ENSEMBLE INJECTEUR À BALAYAGE POUR LE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
Abstract: front page image
(EN)An injection module assembly (IMA) that moves along a predetermined path to inject gas onto a substrate and discharge excess gas is described. The IMA may be used for processing a substrate that is difficult to move for various reasons such as a large size and weight of the substrate. The IMA is connected to one or more sets of jointed arms with structures to provide one or more paths for injecting the gas or discharging the excess gas. The IMA is moved by a first driving mechanism (e.g., linear motor) and the jointed arms are separately operated by a second driving mechanism (e.g., pulleys and cables) to reduce force or torque caused by the weight of the jointed arms. The movement of the first driving mechanism and the second driving mechanism is synchronized to move the IMA and the jointed arms.
(FR)L'invention porte sur un ensemble module d'injection (IMA) qui se déplace le long d'un trajet prédéfini pour injecter du gaz sur un substrat et évacuer du gaz en excès. L'IMA peut être utilisé pour le traitement d'un substrat qui est difficile à déplacer pour diverses raisons telles qu'une grande taille et un grand poids du substrat. L'IMA est relié à un ou plusieurs ensembles de bras articulés avec des structures pour permettre un ou plusieurs trajets pour l'injection du gaz ou l'évacuation du gaz en excès. L'IMA est déplacé par un premier mécanisme d'entraînement (par exemple un moteur linéaire) et les bras articulés sont actionnés séparément par un second mécanisme d'entraînement (par exemple des poulies et des câbles) pour réduire la force ou le couple provoqués par le poids des bras articulés. Les mouvements du premier mécanisme d'entraînement et du second mécanisme d'entraînement sont synchronisés pour déplacer l'IMA et les bras articulés.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)