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1. (WO2013148446) SCANNING INJECTOR ASSEMBLY MODULE FOR PROCESSING SUBSTRATE
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Pub. No.: WO/2013/148446 International Application No.: PCT/US2013/033208
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 21.03.2013
IPC:
C23C 16/00 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
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COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
C
COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition (CVD) processes
Applicants:
VEECO ALD INC. [US/US]; 3191 Laurelview Court Fremont, CA 94538, US
Inventors:
PAK, Samuel, S.; US
LEE, Sang In; US
LEE, Ilsong; US
YANG, Hyo Seok; US
Agent:
AHN, Dohyun; Fenwick & West LLP Silicon Valley Center 801 California Street Mountain View, CA 94041, US
Priority Data:
61/617,52529.03.2012US
Title (EN) SCANNING INJECTOR ASSEMBLY MODULE FOR PROCESSING SUBSTRATE
(FR) MODULE D'ENSEMBLE INJECTEUR À BALAYAGE POUR LE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
Abstract:
(EN) An injection module assembly (IMA) that moves along a predetermined path to inject gas onto a substrate and discharge excess gas is described. The IMA may be used for processing a substrate that is difficult to move for various reasons such as a large size and weight of the substrate. The IMA is connected to one or more sets of jointed arms with structures to provide one or more paths for injecting the gas or discharging the excess gas. The IMA is moved by a first driving mechanism (e.g., linear motor) and the jointed arms are separately operated by a second driving mechanism (e.g., pulleys and cables) to reduce force or torque caused by the weight of the jointed arms. The movement of the first driving mechanism and the second driving mechanism is synchronized to move the IMA and the jointed arms.
(FR) L'invention porte sur un ensemble module d'injection (IMA) qui se déplace le long d'un trajet prédéfini pour injecter du gaz sur un substrat et évacuer du gaz en excès. L'IMA peut être utilisé pour le traitement d'un substrat qui est difficile à déplacer pour diverses raisons telles qu'une grande taille et un grand poids du substrat. L'IMA est relié à un ou plusieurs ensembles de bras articulés avec des structures pour permettre un ou plusieurs trajets pour l'injection du gaz ou l'évacuation du gaz en excès. L'IMA est déplacé par un premier mécanisme d'entraînement (par exemple un moteur linéaire) et les bras articulés sont actionnés séparément par un second mécanisme d'entraînement (par exemple des poulies et des câbles) pour réduire la force ou le couple provoqués par le poids des bras articulés. Les mouvements du premier mécanisme d'entraînement et du second mécanisme d'entraînement sont synchronisés pour déplacer l'IMA et les bras articulés.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)