WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2013146948) COATING METHOD AND COATING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2013/146948 International Application No.: PCT/JP2013/059138
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 27.03.2013
IPC:
B05D 1/26 (2006.01) ,B05C 5/00 (2006.01) ,B05C 13/02 (2006.01) ,H01L 31/04 (2006.01)
Applicants: TORAY INDUSTRIES, INC.[JP/JP]; 1-1, Nihonbashi-Muromachi 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1038666, JP
Inventors: FUJIMORI, Shigeo; JP
MURASE, Seiichiro; JP
ENZAKI, Satoshi; JP
GOTO, Tetsuya; JP
Agent: SAKAI, Hiroaki; Sakai International Patent Office, Kasumigaseki Building, 2-5, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006020, JP
Priority Data:
2012-07650129.03.2012JP
Title (EN) COATING METHOD AND COATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE REVÊTEMENT ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT
(JA) 塗布方法および塗布装置
Abstract: front page image
(EN) Provided are a coating method and coating device which can handle arbitrary coating shapes while maintaining the high pattern coating accuracy of conventional slit coating methods and stripe coating methods. This coating method involves a bead forming step for discharging a coating liquid from the discharge port of a nozzle to form beads of the coating liquid between the substrate and the discharge port, and a coating step for moving the nozzle relatively to the substrate to coat the substrate with the coating liquid. In the coating step, the coating end position of the coating liquid on the substrate is adjusted by changing the interval between the substrate and the discharge port of the nozzle.
(FR) Cette invention concerne un procédé de revêtement et un dispositif de revêtement permettant de gérer des formes de revêtement arbitraires tout en préservant la haute précision de revêtement des procédés de revêtement classiques par fentes et en bandes. Ledit procédé de revêtement comprend une étape de formation de perles consistant à distribuer un liquide de revêtement à partir d'un orifice de projection d'une buse de façon à former des perles de liquide de revêtement entre le substrat et l'orifice de projection, et une étape de revêtement consistant à déplacer la buse par rapport au substrat de façon à enduire le substrat du liquide de revêtement. A l'étape de revêtement, la position finale de revêtement du liquide de revêtement sur le substrat est réglée par modification de l'espace entre le substrat et l'orifice de projection de la buse.
(JA)  スリット塗布法やストライプ塗布法が元来もつ高いパターン塗布精度を保持したまま、任意の塗布形状に対応することができる塗布方法および塗布装置を提供する。塗布方法は、ノズルの吐出口から塗液を吐出させて、基板と前記吐出口との間に前記塗液からなるビードを形成するビード形成工程と、前記基板に対して前記ノズルを相対移動させて、前記基板上に前記塗液を塗布する塗布工程と、を含み、前記塗布工程において、前記ノズルの吐出口と前記基板との間隔を変化させることにより、前記基板上における前記塗液の塗布終了位置が調整される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)