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Pub. No.:    WO/2013/146680    International Application No.:    PCT/JP2013/058576
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 25.03.2013
B01J 7/02 (2006.01), B01F 3/04 (2006.01), B01F 5/00 (2006.01), B01F 15/06 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01)
Applicants: V-TEX CORPORATION [JP/JP]; 28-11, Minami Ohi 6-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1400013 (JP)
Inventors: NAGAI, Hideaki; (JP).
HISAE, Takashi; (JP)
Agent: MATSUSAKA, Masahiro; Nagahori-Yachiyo Bldg. 6F, 11-9, Minamisemba 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5420081 (JP)
Priority Data:
2012-079395 30.03.2012 JP
(JA) 気化装置
Abstract: front page image
(EN)A vaporization device (1) is provided with: a supply port (11) from which a mixed fluid of a carrier gas and material droplets is supplied; a heating flow path section (2) to which a plurality of heating flow paths (24) extending in an axial direction parallel to a center axis (J1) are provided; a static mixer section (3) for stirring the mixed fluid having passed through the heating flow path section (2); a main heating section (5) for heating the heating flow path section (2) and the static mixer section (3) from outside in the radial direction; a filter section (4) through which is passed a vapor of the mixed fluid having passed through the static mixer section (3); and a discharge port (12) from which the vapor having passed through the filter section (4) is discharged. In the static mixer section (3), the mixed fluid is efficiently stirred and the uniformity of the distribution of the material droplets within the mixed fluid is improved. This makes it possible to improve the efficiency of material droplet vaporization.
(FR)L'invention concerne un dispositif de vaporisation (1) prévu avec : un orifice d'alimentation (11) à partir duquel un fluide mélangé d'un gaz porteur et des gouttelettes de matériau est fourni; et une section de trajet d'écoulement de chauffage (2) à laquelle une pluralité de trajets d'écoulement de chauffage (24) s'étendant dans une direction axiale parallèle à un axe central (J1) sont fournis; une section de mélangeur statique (3) pour mélanger le fluide ayant traversé la section de trajet d'écoulement de chauffage (2); une section de chauffage principale (5) pour chauffer la section de trajet d'écoulement de chauffage (2) et la section de mélangeur statique (3) à partir de l'extérieur dans la direction radiale; une section de filtre (4) à travers laquelle passe une vapeur du fluide mélangé ayant traversé la section de mélangeur statique (3); et un orifice de décharge (12) à partir duquel la vapeur qui a traversé la section de filtre (4) est déchargée. Dans la section de mélangeur statique (3), le fluide mélangé est efficacement agité et l'uniformité de distribution des gouttelettes de matériau dans le fluide mélangé est améliorée. Il est ainsi possible d'améliorer l'efficacité de vaporisation des gouttelettes de matériau.
(JA) 気化装置(1)は、キャリアガスと材料液滴との混合流体が供給される供給口(11)と、中心軸(J1)に平行な軸方向に延びる複数の加熱流路(24)が設けられる加熱流路部(2)と、加熱流路部(2)を通過した混合流体を攪拌するスタティックミキサ部(3)と、加熱流路部(2)およびスタティックミキサ部(3)を径方向の外側から加熱する本体加熱部(5)と、スタティックミキサ部(3)を通過した混合流体のうち気体を通過させるフィルタ部(4)と、フィルタ部(4)を通過した気体が排出される排出口(12)とを備える。スタティックミキサ部(3)では、混合流体が効率的に攪拌され、混合流体中における材料液滴の分布の均一性が向上される。これにより、材料液滴の気化効率を向上することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)