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1. (WO2013146611) MAINTENANCE SYSTEM, AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2013/146611 International Application No.: PCT/JP2013/058375
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 22.03.2013
IPC:
H01L 21/02 (2006.01) ,E05B 49/00 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Inventors: HIROKI Tsutomu; JP
Agent: HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005, JP
Priority Data:
2012-07174327.03.2012JP
Title (EN) MAINTENANCE SYSTEM, AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) SYSTÈME DE MAINTENANCE, ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 保守システム及び基板処理装置
Abstract: front page image
(EN)  A maintenance system (10) installed in a substrate processing device (107). This maintenance system (10) is equipped with an equipment control unit (14), a sensor value acquiring unit (11), a determining unit (12), and a control signal generating unit (13). The equipment control unit (14) operates an equipment to be monitored (22) disposed inside the substrate processing device (107). The sensor value acquiring unit (11) and the determining unit (12) detect the entry of a living body into the substrate processing device (107). When the entry of a living body into the substrate processing device (107) is detected, the control signal generating unit (13) outputs a signal, to the apparatus control unit (14) for stopping the operation of the equipment to be monitored (22).
(FR)  L'invention concerne un système de maintenance (10) installé dans un dispositif de traitement de substrat (107). Ce système de maintenance (10) est équipé d'une unité de commande d'équipement (14), d'une unité d'acquisition de valeur de capteur (11), d'une unité de détermination (12), et d'une unité de génération de signal de commande (13). L'unité de commande d'équipement (14) exploite un équipement devant être surveillé (22), disposé à l'intérieur du dispositif de traitement de substrat (107). L'unité d'acquisition de valeur de capteur (11) et l'unité de détermination (12) détectent l'entrée d'un être vivant dans le dispositif de traitement de substrat (107). Lorsque l'entrée d'un être vivant dans le dispositif de traitement de substrat (107) est détectée, l'unité de génération de signal de commande (13) envoie en sortie un signal à l'unité de commande d'appareil (14) pour arrêter le fonctionnement de l'équipement devant être surveillé (22).
(JA)  保守システム10は、基板処理装置107に搭載されるシステムである。この保守システム10は、機器制御部14、センサ値取得部11、判定部12及び制御信号生成部13を備える。機器制御部14は、基板処理装置107の内部に配置された監視対象機器22を動作させる。センサ値取得部11及び判定部12は、基板処理装置107の内部に生体が進入したことを検知する。制御信号生成部13は、基板処理装置107の内部に生体が進入したことを検知された場合には、機器制御部14に対して監視対象機器22の動作を停止する信号を出力する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)