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1. (WO2013146603) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/146603    International Application No.:    PCT/JP2013/058343
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 22.03.2013
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: HIROKI Tsutomu; (JP)
Agent: HASEGAWA Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Life Bldg.) 9th fl., 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2012-069869 26.03.2012 JP
Title (EN) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理システム
Abstract: front page image
(EN) A substrate processing system according to one embodiment is equipped with a plurality of trays, a processing head, and a plurality of linear assist units. Substrates can be held by the plurality of trays. The processing head processes the substrate in a processing chamber. The plurality of linear assist units convey the plurality of trays in the conveyance direction in the processing chamber so that the substrates are processed by the processing head. Each of the plurality of linear assist units includes: a linear guide that extends in the conveyance direction and has a stator for a linear motor arranged in the conveyance direction; and a movable body that moves along the linear guide. The linear guides of the plurality of linear assist units are arranged in a direction intersecting the conveyance direction. Each movable body of the plurality of linear assist units is capable of selectively coupling to the tray that is accommodated in the processing chamber among the plurality of trays, and said movable body includes a coupling unit capable of releasing the tray.
(FR) Un système de traitement de substrat selon un mode de réalisation est équipé d'une pluralité de plateaux, d'une tête de traitement et d'une pluralité d'unités d'assistance linéaires. Les substrats peuvent être maintenus par la pluralité de plateaux. La tête de traitement traite le substrat dans une chambre de traitement. La pluralité d'unités d'assistance linéaires transporte la pluralité de plateaux dans la direction de transport dans la chambre de traitement, de telle sorte que les substrats sont traités par la tête de traitement. Chaque unité de la pluralité d'unités d'assistance linéaires comprend : un guide linéaire qui s'étend dans la direction du transport et présente un stator pour un moteur linéaire disposé dans la direction de transport ; et un corps mobile qui se déplace le long du guide linéaire. Les guides linéaires de la pluralité d'unités d'assistance linéaires sont agencés dans une direction croisant la direction de transport. Chaque corps mobile de la pluralité d'unités d'assistance linéaire est capable de s'accoupler de manière sélective au plateau qui est logé dans la chambre de traitement, parmi la pluralité de plateaux, et ledit corps mobile comprend une unité de couplage capable de libérer le plateau.
(JA) 一実施形態の基板処理システムは、複数のトレイ、処理ヘッド、及び、複数のリニアアシストユニットを備えている。複数のトレイには、基板が保持され得る。処理ヘッドは、処理室内において基板を処理する。複数のリニアアシストユニットは、基板が処理ヘッドにより処理されるよう複数のトレイを処理室内において搬送方向に搬送する。複数のリニアアシストユニットの各々は、搬送方向に配列されたリニアモータの固定子を有し搬送方向に延在するリニアガイド、及び、前記リニアガイドに沿って移動する可動体を含んでいる。複数のリニアアシストユニットのリニアガイドは、搬送方向に交差する方向に配列されている。複数のリニアアシストユニットの可動体の各々は、複数のトレイのうち処理室に収容されたトレイに選択的に結合可能であり、且つ、当該トレイとの結合を解除可能な結合部を有してそういる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)