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Pub. No.:    WO/2013/145924    International Application No.:    PCT/JP2013/053790
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 18.02.2013
H01J 37/28 (2006.01), G01B 15/00 (2006.01), G01B 15/04 (2006.01), H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: YOKOSUKA Toshiyuki; (JP).
LEE Chahn; (JP).
KAZUMI Hideyuki; (JP).
MAKINO Hiroshi; (JP).
MIZUHARA Yuzuru; (JP).
ISAWA Miki; (JP).
HATANO Michio; (JP).
MOMONOI Yoshinori; (JP)
Agent: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2012-072710 28.03.2012 JP
(JA) 走査電子顕微鏡
Abstract: front page image
(EN)A scanning electron microscope according to the present invention forms an electric field that pulls up electrons discharged from the bottom of holes or the like with high efficiency, even when the surface of a sample is made of a conductive material. In a scanning electron microscope that is provided with a deflector for deflecting the scanning position of an electron beam and a sample stage for mounting a sample thereon, the deflector or the sample stage is controlled such that an electron beam is radiated, before scanning an electron beam upon a pattern to be measured, upon another pattern positioned at a layer below the pattern to be measured.
(FR)Un microscope électronique à balayage selon la présente invention forme un champ électrique qui extrait des électrons déchargés de la base de trous ou similaires avec une efficacité élevée, même lorsque la surface d'un échantillon est faite d'une matière conductrice. Dans un microscope électronique à balayage qui comporte un déflecteur pour dévier la position de balayage d'un faisceau d'électrons et un étage d'échantillon pour monter un échantillon sur celui-ci, le déflecteur ou l'étage d'échantillon est commandé de telle sorte qu'un faisceau d'électrons est rayonné, avant le balayage d'un faisceau d'électrons sur un motif à mesurer, sur un autre motif positionné au niveau d'une couche au-dessous du motif à mesurer.
(JA) 本発明は、走査電子顕微鏡において、試料表面が導電性材料であったとしても、穴底等から放出される電子を高効率に引き上げる電界を形成するものである。 電子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、試料を搭載するための試料ステージを備えた走査電子顕微鏡において、測定対象パターンに対し電子ビームを走査する前に、当該測定対象パターンの下層に位置する他のパターンに対する電子ビーム照射を行うように、前記偏向器又は前記試料ステージを制御するようにした。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)