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Pub. No.: WO/2013/145813 International Application No.: PCT/JP2013/050608
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 16.01.2013
C23C 14/56 (2006.01) ,C23C 16/54 (2006.01)
Applicants: TORAY ENGINEERING CO., LTD.[JP/JP]; Nihonbashi Muromachi Bldg., 3-16, Nihonbashi Hongokucho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030021, JP
Inventors: TERADA, Toyoharu; JP
SAKAI, Hirofumi; JP
Priority Data:
(JA) 製膜装置
Abstract: front page image
(EN) A film-forming apparatus for performing a predetermined process on a roll-to-roll elongated thin-film substrate to form a film on the substrate surface, wherein the base material is transported smoothly using a Nelson roller and damage to the base material or failure of the apparatus are prevented. Specifically, the film-forming apparatus (1) is provided with a film-forming material supply unit (6), a first roller (51), and a second roller (52). The film-forming material supply unit (6) is disposed inside a chamber (3) and a predetermined film-forming process is performed on the transported base material (2). The first roller (51) transmits the base material (2) supplied from outside the chamber (3) to the film-forming material supply unit (6), and discharges the base material (2) outside the chamber (3) after the film-forming process. The second roller (52) has a rotation axis inclined at a predetermined angle from the rotation axis of the first roller (51), and arrays the base material (2), which is wrapped multiple times in the space between the first roller (51) and the second roller (52), at a predetermined interval in multiple rows. Here, the first roller (51) and/or the second roller (52) is divided into a plurality of freely rotating independent rollers (51a-51n and/or 52a-52n).
(FR) L'invention concerne un appareil de formation de film pour effectuer un procédé prédéterminé sur un substrat de film mince allongé rouleau-à-rouleau pour former un film sur la surface du substrat, la matière de base étant transportée doucement à l'aide d'un rouleau Nelson et un endommagement de la matière de base ou une défaillance de l'appareil étant empêchés. De façon spécifique, l'appareil de formation de film (1) comprend une unité d'alimentation en matière filmogène (6), un premier rouleau (51) et un second rouleau (52). L'unité d'alimentation en matière filmogène (6) est disposée à l'intérieur d'une chambre (3) et un procédé de formation de film prédéterminé est effectué sur la matière de base transportée (2). Le premier rouleau (51) transmet la matière de base (2) introduite depuis l'extérieur de la chambre (3) à l'unité d'alimentation en matière de filmogène (6) et décharge la matière de base (2) à l'extérieur de la chambre (3) après le procédé de formation de film. Le second rouleau (52) a un axe de rotation incliné à un angle prédéterminé à partir de l'axe de rotation du premier rouleau (51) et agence la matière de base (2), qui est enroulé plusieurs fois dans l'espace entre le premier rouleau (51) et le second rouleau (52), à un intervalle prédéterminé en des lignes multiples. Ici, le premier rouleau (51) et/ou le second rouleau (52) est divisé en une pluralité de rouleaux indépendants tournant librement (51a-51n et/ou 52a-52n).
(JA)  ロールツーロールタイプで長尺状の薄板基材上に所定の処理を行って基材表面に製膜する製膜装置において、ネルソンローラによる基材の搬送を円滑にし、基材の損傷や装置の故障を防止する。具体的には、製膜装置1は、製膜材料供給部6と、第1ローラ51と、第2ローラ52とを備えている。製膜材料供給部6は、チャンバ3内に配置され、搬送される基材2に対して所定の製膜処理を実行する。第1ローラ51は、チャンバ3の外から供給される基材2を製膜材料供給部6に送出し、製膜処理後の基材2をチャンバ3の外に排出する。第2ローラ52は、第1ローラ51の回転軸と所定の角度で傾斜する回転軸を有し、第1ローラ51との間で基材2が複数回巻回されて基材2を所定の間隔で複数列整列させる。ここで、第1ローラ51と第2ローラ52のうち少なくとも一方が、自由回転する複数の個別ローラ51a~51n及び/又は52a~52nに分割されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)