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1. (WO2013143677) HANDLING UNIT FOR WAFERS AND METHOD FOR PICKING UP A WAFER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/143677    International Application No.:    PCT/EP2013/000884
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 22.03.2013
IPC:
H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: INNOLAS SEMICONDUCTOR GMBH [DE/DE]; Justus-von-Liebig-Ring 8 82152 Krailling (DE)
Inventors: BEHR, Andreas; (DE)
Agent: RÖSLER, Uwe; Landsberger Strasse 480a 81241 München (DE)
Priority Data:
10 2012 006 521.3 30.03.2012 DE
Title (DE) HANDHABUNGSEINHEIT FÜR WAFERSCHEIBEN SOWIE VERFAHREN ZUM AUFNEHMEN EINER WAFERSCHEIBE
(EN) HANDLING UNIT FOR WAFERS AND METHOD FOR PICKING UP A WAFER
(FR) UNITÉ DE MANIEMENT POUR PLAQUETTES AINSI QUE PROCÉDÉ DE PRÉHENSION D'UNE PLAQUETTE
Abstract: front page image
(DE)Beschrieben wird eine Handhabungseinheit zum Aufnehmen, Transportieren und Ablegen einer Waferscheibe, mit einem Waferscheibenträger, der an einem um wenigstens drei Raumachsen positionierbaren Manipulatorarm angebracht ist. Der Waferscheibenträger verfügt über einen Waferscheibenaufnahmebereich, dem eine Auflageebene zuordenbar ist, und sieht darüber hinaus wenigstens zwei den Waferscheibenaufnahmebereich seitlich lokal begrenzende Haltemittel vor, an die zumindest der Umfangsrand einer auf dem Waferscheibenträger aufliegenden Waferscheibe selbst zentrierend angrenzt. Ferner wird ein Verfahren zum Aufnehmen einer Waferscheibe beschrieben. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass an dem Waferscheibenträger wenigstens zwei optische Sensoren mit jeweils einer orthogonal zur Auflageebene orientierten und dem Waferscheibenaufnahmebereich zugewandten Sensorblickrichtung angeordnet sind, die Sensorsignale generieren, und dass eine Auswerte- und Steuereinheit vorgesehen ist, die auf Grundlage der Sensorsignale Steuersignale zur Positionierung des Manipulatorarmes erzeugt.
(EN)The invention relates to a handling unit for picking up, transporting and putting down a wafer, having a wafer carrier which is mounted on a manipulator arm which can be positioned about at least three spatial axes. The wafer carrier has a wafer pick-up zone with which a support plane can be co-ordinated, and also provides at least two holding means laterally locally delimiting the wafer pick-up zone, wherein at least the peripheral edge of a wafer supported on the wafer carrier adjoins said holding means in a self-centring manner. The invention further relates to a method for picking up a wafer. The invention is characterised in that at least two optical sensors are arranged on the wafer carrier, each optical sensor having a sensor line of sight oriented orthogonally with respect to the support plane and facing the wafer pick-up zone, said sensors generating the sensor signals, and in that an evaluation and control unit is provided, which, on the basis of the sensor signals, generates control signals for positioning the manipulator arm.
(FR)La présente invention concerne une unité de maniement destinée à prendre, transporter et déposer une plaquette, comportant un porte-plaquette, qui est placé sur un bras manipulateur susceptible d'être positionné autour d'au moins trois axes spatiaux. Le porte-plaquette dispose d'une zone de préhension de plaquette à laquelle est affecté un plan d'appui et comporte en outre au moins deux moyens de soutien limitant localement et latéralement la zone de préhension de la plaquette, auxquels est contigu de façon autocentrée au moins le bord périphérique d'une plaquette reposant sur le porte-plaquette. En outre, l'invention concerne un procédé permettant de prendre une plaquette. L'invention se caractérise par le fait que sur le porte-plaquette sont disposés au moins deux capteurs optiques présentant respectivement une direction de visée orientée à l'orthogonale par rapport au plan d'appui et tournés vers la zone de préhension de plaquette, qui génèrent des signaux de capteur et qu'une unité d'analyse et de commande est prévue, qui génère sur la base des signaux de capteur des signaux de commande pour le positionnement du bras manipulateur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)