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1. (WO2013143624) TARGET MATERIAL WITH A BORON COMPOUND FOR A THIN FILM DEPOSTITION TECHNIQUE, METHOD FOR MANUFACTURING A THIN FILM ON A SUBSTRATE, HEAT RECEIVER TUBE, PARABOLIC TROUGH COLLECTOR WITH THE HEAT RECEIVER TUBE AND USE OF THE PARABOLIC TOUGH COLLECTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/143624    International Application No.:    PCT/EP2012/070740
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 19.10.2012
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), F24J 2/00 (2014.01), G02B 1/00 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01)
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 80333 München (DE) (UA only).
SIEMENS CONCENTRATED SOLAR POWER LTD. [IL/IL]; 3 Ha-Hac'shara 99107 Beit Shemesh (Industrial Area West) (IL)
Inventors: BARKAI, Menashe; (IL).
GETTE, Alexander; (IL)
Common
Representative:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34 80506 München (DE)
Priority Data:
12162477.9 30.03.2012 EP
Title (EN) TARGET MATERIAL WITH A BORON COMPOUND FOR A THIN FILM DEPOSTITION TECHNIQUE, METHOD FOR MANUFACTURING A THIN FILM ON A SUBSTRATE, HEAT RECEIVER TUBE, PARABOLIC TROUGH COLLECTOR WITH THE HEAT RECEIVER TUBE AND USE OF THE PARABOLIC TOUGH COLLECTOR
(FR) MATÉRIAU CIBLE DOTÉ D'UN COMPOSÉ DE BORE, DESTINÉ À UNE TECHNIQUE DE DÉPÔT DE FILM MINCE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FILM MINCE SUR UN SUBSTRAT, TUBE DE RÉCEPTION DE CHALEUR, RÉFLECTEUR CYLINDRO-PARABOLIQUE DOTÉ DU TUBE DE RÉCEPTION DE CHALEUR ET UTILISATION DU RÉFLECTEUR CYLINDRO-PARABOLIQUE
Abstract: front page image
(EN)A target material for a thin film deposition technique is provided with following limitations: The target material comprises a composite material; the composite material comprises a matrix with matrix material and particles with particle material, wherein the particles are distributed in the matrix; the matrix material is an electrically conductive matrix material and the particle material is a dielectric particle material or the matrix material is a dielectric matrix material and the particle material is an electrically conductive particle material. The electrically conductive matrix material or the electrically conductive particle material comprise at least one kind of boron compound. Additionally a method for manufacturing a thin film on a substrate surface of a substrate with following steps is provided: a) Providing a substrate with a substrate surface; and b) Depositing the thin film on the substrate surface of the substrate with the aid of a thin film deposition technique, wherein the target is used. The thin film deposition technique uses a DC or a pulsed DC power supply. Additionally a parabolic trough collector is provided with at least one heat receiver tube, which is arranged in a focal line of a parabolic mirror. The parabolic trough collector is used in a solar power plant for converting solar energy into electrical energy.
(FR)La présente invention concerne un matériau cible destiné à une technique de dépôt de film mince, qui affiche les limites suivantes : Le matériau cible comprend un matériau composite; le matériau composite comprend une matrice avec un matériau de matrice et des particules avec un matériau de particule, les particules étant réparties dans la matrice; le matériau de matrice est un matériau de matrice électriquement conducteur et le matériau de particule est un matériau de particule diélectrique ou le matériau de matrice est un matériau de matrice diélectrique et le matériau de particule est un matériau de particule électriquement conducteur. Le matériau de matrice électriquement conducteur ou le matériau de particule électriquement conducteur comprennent au moins une sorte de composé de bore. En outre, un procédé de fabrication d'un film mince sur une surface d'un substrat comprend les étapes suivantes : a) la fourniture d'un substrat doté d'une surface de substrat; et b) le dépôt du film mince sur la surface du substrat, à l'aide d'une technique de dépôt de film mince, la cible étant utilisée. La technique de dépôt de film mince utilise une alimentation électrique CC ou une alimentation électrique CC pulsée. En outre, un réflecteur cylindro-parabolique est doté d'au moins un tube de réception de chaleur, agencé dans une ligne focale d'un miroir parabolique. Le réflecteur cylindro-parabolique sert dans une centrale solaire, afin de convertir l'énergie solaire en énergie électrique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)