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1. (WO2013143369) LINER ION BEAM BONDING APPARATUS AND ARRAY STRUCTURE THEREOF
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Pub. No.: WO/2013/143369 International Application No.: PCT/CN2013/071877
Publication Date: 03.10.2013 International Filing Date: 26.02.2013
IPC:
H01J 49/42 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49
Particle spectrometers or separator tubes
26
Mass spectrometers or separator tubes
34
Dynamic spectrometers
42
Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
Applicants: SHIMADZU RESEARCH LABORATORY(SHANGHAI) CO. LTD[CN/CN]; 3F, NO.6 Building, 108 KaYuanEr Road, Zhangjiang Hi-Tech Park, Pudong Shanghai 201201, CN
Inventors: JIANG, Gongyu; CN
SUN, Wenjian; CN
Agent: SHANGHAI PATENT & TRADEMARK LAW OFFICE, LLC; 435 Guiping Road Shanghai 200233, CN
Priority Data:
201210090725.530.03.2012CN
Title (EN) LINER ION BEAM BONDING APPARATUS AND ARRAY STRUCTURE THEREOF
(FR) APPAREIL DE LIAISON DE FAISCEAUX D'IONS LINÉAIRE ET STRUCTURE EN RÉSEAU DE CE DERNIER
(ZH) 线型离子束缚装置及其阵列结构
Abstract:
(EN) A linear ion beam bonding apparatus and an array structure thereof, comprising a pair of primary radiofrequency electrodes (501 and 502) extending along the axial direction and oppositely arranged on two sides of the central axis of the linear ion beam bonding apparatus. Section patterns on different section planes of each of the primary radiofrequency electrodes (501 and 502) and perpendicular to the central axis are all kept symmetric via a primary symmetric plane (506) of the central axis. Radiofrequency voltages attached to the primary radiofrequency electrodes (501 and 502) are of identical phases. An ion extraction groove (84) is arranged on at least one of the primary radiofrequency electrodes (501 and 502), while at least one pair of auxiliary electrodes (503 and 505) are arranged on two sides of the pair of primary radiofrequency electrodes (501 and 502). The auxiliary electrodes (503 and 505) are arranged in duality to the primary symmetric plane (506). At least one of the auxiliary electrodes (503 and 505) is provided with a finite number of symmetric planes (507), while a minimal angle greater than 0 degrees and less than 90 degrees is provided between each symmetric plane (507) and the symmetric plane (506) of the primary radiofrequency electrodes (501 and 502). By means of this, a quadrupole field component of an ion beam bonding radiofrequency electric field within the ion beam bonding apparatus is strengthened.
(FR) La présente invention se rapporte à un appareil de liaison de faisceaux d'ions linéaire et à une structure en réseau de ce dernier qui comprennent une paire d'électrodes de radiofréquence primaires (501 et 502) qui s'étendent le long de la direction axiale et qui sont agencées sur deux côtés de l'axe central de l'appareil de liaison de faisceaux d'ions linéaire. Des motifs de section sur différents plans de section de chaque électrode de radiofréquence primaire (501 et 502) et perpendiculaires à l'axe central sont conservés de manière à être symétriques par l'intermédiaire d'un plan de symétrie primaire (506) de l'axe central. Les tensions radiofréquence attribuées aux électrodes de radiofréquence primaires (501 et 502) présentent des phases identiques. Une rainure d'extraction d'ions (84) est agencée sur au moins l'une des électrodes de radiofréquence primaires (501 et 502) tandis qu'au moins deux électrodes auxiliaires (503 et 505) sont agencées sur deux côtés de la paire d'électrodes de radiofréquence primaires (501 et 502). Les électrodes auxiliaires (503 et 505) sont agencées selon une relation de dualité par rapport au plan de symétrie primaire (506). Au moins l'une des électrodes auxiliaires (503 et 505) est pourvue d'un nombre fini de plans symétriques (507) tandis qu'un angle minimal supérieur à 0 degré et inférieur à 90 degrés est formé entre chaque plan de symétrie (507) et le plan de symétrie (506) des électrodes de radiofréquence primaires (501) et 502). Grâce à cela, la composante de champ quadripôle d'un champ électrique radiofréquence de liaison de faisceaux d'ions dans l'appareil de liaison de faisceaux d'ions est renforcée.
(ZH) 一种线型离子束缚装置及其阵列结构,包含沿该线型离子束缚装置的中轴线两侧相对设置的一对沿轴向伸展的主射频电极(501,502),每一个主射频电极(501,502)在垂直于该中轴线的各截平面上的截面图形都通过该中轴线的一主对称平面(506)保持对称,其中该主射频电极(501,502)上附加的射频电压相位相同。在至少一个主射频电极(501,502)上设有离子引出槽(84),并且在该对主射频电极(501,502)两侧设置至少一对辅助电极(503,505),这些辅助电极(503,505)对偶于该主对称平面(506)放置。其中至少一个辅助电极(503,505)具有有限个对称平面(507),且各对称平面(507)与该对主射频电极(501,502)的对称平面(506)之间存在一大于0度并且小于90度的最小夹角。通过这种方式,离子束缚装置内的离子束缚射频电场的四极场成分可以得到加强。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)