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1. (WO2013126324) HEATING LAMP HAVING BASE TO FACILITATE REDUCED AIR FLOW ABOUT THE HEATING LAMP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/126324    International Application No.:    PCT/US2013/026645
Publication Date: 29.08.2013 International Filing Date: 19.02.2013
IPC:
H01K 1/18 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: MYO, Nyi OO; (US)
Agent: TABOADA, Alan; Moser Taboada 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Priority Data:
61/603,215 24.02.2012 US
13/770,013 19.02.2013 US
Title (EN) HEATING LAMP HAVING BASE TO FACILITATE REDUCED AIR FLOW ABOUT THE HEATING LAMP
(FR) LAMPE CHAUFFANTE AYANT UN CULOT PERMETTANT UN FLUX D'AIR RÉDUIT AUTOUR DE LA LAMPE CHAUFFANTE
Abstract: front page image
(EN)Embodiments of heating lamps and heating lamp arrays are disclosed herein. In some embodiments, a heating lamp may include a heating lamp envelope having a filament disposed within the heating lamp envelope; a base coupled to the heating lamp envelope to support the heating lamp envelope; and one or more recesses formed in the base to provide an improved grip for a user. In some embodiments, a heating lamp array for use in a semiconductor process chamber may include a plurality of heating lamps, each heating lamp comprising a heating lamp envelope having a filament disposed within the envelope and a base coupled to the heating lamp envelope to support the envelope, the base having one or more recesses formed in the base to provide an improved grip for a user, wherein a distance between adjacent heating lamp bases is about 0.02 inches to about 0.08 inches.
(FR)L'invention concerne des modes de réalisation de lampes chauffantes et d'un ensemble de lampes chauffantes. Dans certains modes de réalisation, une lampe chauffante peut comprendre une enveloppe de lampe chauffante à l'intérieur de laquelle se trouve un filament ; un culot couplé à l'enveloppe de lampe chauffante pour supporter l'enveloppe de lampe chauffante ; et un ou plusieurs évidements formés dans le culot pour fournir une meilleure prise pour un utilisateur. Dans certains modes de réalisation, un ensemble de lampes chauffantes destiné à être utilisé dans une chambre de traitement de semi-conducteurs peut comprendre une pluralité de lampes chauffantes, chaque lampe chauffante comprenant une enveloppe de lampe chauffante à l'intérieur de laquelle se trouve un filament, et un culot couplé à l'enveloppe de lampe chauffante pour supporter l'enveloppe, un ou plusieurs évidements étant formés dans le culot pour fournir une meilleure prise pour un utilisateur. Une distance entre des culots de lampes chauffantes adjacents est d'environ 0,02 pouce à environ 0,08 pouce.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)