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1. (WO2013123617) MASS FLOW CONTROLLERS AND METHODS FOR AUTO-ZEROING FLOW SENSOR WITHOUT SHUTTING OFF A MASS FLOW CONTROLLER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/123617    International Application No.:    PCT/CN2012/000229
Publication Date: 29.08.2013 International Filing Date: 22.02.2012
IPC:
G01N 30/32 (2006.01), G01F 25/00 (2006.01)
Applicants: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Legal Department, DL429 Intellectual Property Administration Loveland, Colorado 7599 (US) (For All Designated States Except US).
GUAN, Xiao-sheng [CN/CN]; (CN) (For US Only).
HENDERSON, Robert C [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: GUAN, Xiao-sheng; (CN).
HENDERSON, Robert C; (US)
Agent: BEIJING EAST IP LTD.; Suite 1601, Tower E2, The Towers, Oriental Plaza No.1 East Changan Ave., Dongcheng District Beijing 100738 (CN)
Priority Data:
Title (EN) MASS FLOW CONTROLLERS AND METHODS FOR AUTO-ZEROING FLOW SENSOR WITHOUT SHUTTING OFF A MASS FLOW CONTROLLER
(FR) RÉGULATEURS DE DÉBIT MASSIQUE ET PROCÉDÉS DE MISE À ZÉRO AUTOMATIQUE D'UN DÉTECTEUR DE DÉBIT SANS ÉTEINDRE LES RÉGULATEURS DE DÉBIT MASSIQUE
Abstract: front page image
(EN)An MFC includes: a proportional valve; a mass flow sensor; a first flow line connecting from an outlet of the proportional valve through the mass flow sensor to an exit line; a second flow line joining the first flow line at a first junction located upstream of the mass flow sensor and at a second junction located downstream of the mass flow sensor; a switching valve placed at the first junction or the second junction to join the first flow line and the second flow line such that the switching valve can regulate a flow of a gas through the first flow line or the second flow line; and a control device connected with the proportional valve and the mass flow sensor to provide a feedback control loop for regulating the proportional valve based on signals measured by the mass flow sensor, wherein the control device comprises a program for keeping a rate of a flow exiting the exit line substantially constant when the flow is through the second flow line.
(FR)Cette invention concerne un régulateur de débit massique comprenant les éléments suivants : une vanne proportionnelle; un détecteur de débit massique; un premier conduit partant d'un port de sortie de la vanne proportionnelle et passant par le détecteur de débit massique en direction d'un conduit d'évacuation; un second conduit reliant le premier conduit au niveau d'une première jonction située en amont du détecteur de débit massique et au niveau d'une seconde jonction située en aval du détecteur de débit massique; une vanne de commutation située à la première jonction ou la seconde jonction et qui joint le premier conduit et le second conduit de manière à ce que la vanne de commutation régule le débit d'un gaz dans le premier conduit ou le second conduit; et un dispositif de commande relié à la vanne proportionnelle et au détecteur de débit massique qui régule par rétrocontrôle la vanne proportionnelle d'après des signaux mesurés par le détecteur de débit massique, le dispositif de commande comprenant un programme permettant de maintenir le débit du gaz sortant du conduit d'évacuation sensiblement constant lorsque le gaz passe par le second conduit.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)