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1. (WO2013121423) METHOD AND SYSTEM FOR USE IN OPTICAL MEASUREMENTS IN DEEP THREE-DIMENSIONAL STRUCTURES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/121423    International Application No.:    PCT/IL2013/050129
Publication Date: 22.08.2013 International Filing Date: 12.02.2013
IPC:
G01B 11/22 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), G01J 4/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. [IL/IL]; Weizmann Scientific Park P.O.B. 266 7610201 Rehovot (IL)
Inventors: BARAK, Gilad; (IL).
BRILL, Boaz; (IL)
Agent: REINHOLD COHN AND PARTNERS; P.O.B. 13239 61131 Tel-Aviv (IL)
Priority Data:
61/597,854  13.02.2012 US
Title (EN) METHOD AND SYSTEM FOR USE IN OPTICAL MEASUREMENTS IN DEEP THREE-DIMENSIONAL STRUCTURES
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME UTILISÉS POUR DES MESURES OPTIQUES DANS DES STRUCTURES TRIDIMENSIONNELLES PROFONDES
Abstract: front page image
(EN)A measurement system and method are presented for use in measuring in patterned structures having annularly-shaped vias. The system comprises illumination and detection channels, a polarization orientation system, a navigation system, and a control unit. The polarization orientation system provides at least one of a first polarization orientation condition corresponding to a first measurement mode enabling determination a depth of the via, and a second polarization orientation condition corresponding to a second measurement mode enabling determination of one or more parameters of a profile of the via, the first and second polarization orientation conditions defining first and second predetermined orientations respectively for polarization of the incident light relative a sidewall of the via.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système de mesure utilisés pour des mesures de structures à motifs ayant des trous d'interconnexion de forme annulaire. Le système comprend des canaux d'éclairage et de détection, un système d'orientation de polarisation, un système de navigation et une unité de commande. Le système d'orientation de polarisation présente au moins un premier état d'orientation de polarisation correspondant à un premier mode de mesure permettant de déterminer la profondeur du trou d'interconnexion, et un second état d'orientation de polarisation correspondant à un second mode de mesure permettant de déterminer un ou plusieurs paramètre(s) de profil du trou d'interconnexion, le premier et le second état d'orientation de polarisation définissant respectivement une première et une seconde orientation prédéterminées pour polariser la lumière par rapport à la paroi latérale du trou d'interconnexion.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)