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1. (WO2013121102) NOZZLE AND NOZZLE HEAD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/121102    International Application No.:    PCT/FI2013/050154
Publication Date: 22.08.2013 International Filing Date: 12.02.2013
IPC:
C23C 16/00 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01)
Applicants: BENEQ OY [FI/FI]; Olarinluoma 9 FI-02200 Espoo (FI)
Inventors: ALASAARELA, Tapani; (FI).
SOININEN, Pekka; (FI).
JAUHIAINEN, Mika; (FI)
Agent: KOLSTER OY AB; Iso Roobertinkatu 23 P.O.Box 148 FI-00121 Helsinki (FI)
Priority Data:
20125186 17.02.2012 FI
Title (EN) NOZZLE AND NOZZLE HEAD
(FR) BUSE ET TÊTE DE BUSE
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a nozzle (8) and nozzle head (1) arranged to subject a surface of a substrate (100) to gaseous precursors. The nozzle (8) comprises an output face (24) via which the precursor is supplied, a longitudinal precursor supply element (30, 50) for supplying precursor and a longitudinal discharge channel (6) open to and along the output face (24) for discharging at least a fraction of the precursor supplied from the precursor channel (10). The precursor supply element (30, 0) is arranged to extend inside the discharge channel (6) such that the precursor supply element (30, 50) divides the discharge channel (6) in the longitudinal direction to a first discharge sub-channel (7) and a second discharge sub-channel (9) on opposite sides of the precursor supply element (30, 50) for supplying precursor through the discharge channel (6).
(FR)La présente invention se rapporte à une buse (8) et à une tête de buse (1) conçues pour soumettre une surface d'un substrat (100) à des précurseurs gazeux. La buse (8) comprend une face de sortie (24) par l'intermédiaire de laquelle le précurseur est fourni, un élément de fourniture de précurseur longitudinal (30, 50) destiné à fournir un précurseur et un canal d'évacuation longitudinal (6) ouvert sur la face de sortie (24), et le long de cette dernière, et destiné à évacuer au moins une partie du précurseur fourni par le canal de précurseur (10). L'élément de fourniture de précurseur (30, 50) est agencé pour s'étendre à l'intérieur du canal d'évacuation (6) de telle sorte que l'élément de fourniture de précurseur (30, 50) divise le canal d'évacuation (6) dans la direction longitudinale en un premier sous-canal d'évacuation (7) et un second sous-canal d'évacuation (9) sur les côtés opposés de l'élément de fourniture de précurseur (30, 50) destiné à fournir un précurseur au moyen du canal d'évacuation (6).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)