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1. (WO2013120779) PROCESS BOX, ARRANGEMENTS AND METHODS FOR PROCESSING COATED SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2013/120779 International Application No.: PCT/EP2013/052520
Publication Date: 22.08.2013 International Filing Date: 08.02.2013
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE[FR/FR]; 18, avenue d'Alsace F-92400 Courbevoie, FR
Inventors: FÜRFANGER, Martin; DE
PHAN, Dang Cuong; DE
JOST, Stefan; DE
Agent: GEBAUER, Dieter; Splanemann Patentanwälte Rumfordstraße 7 80469 München, DE
Priority Data:
12155848.016.02.2012EP
Title (EN) PROCESS BOX, ARRANGEMENTS AND METHODS FOR PROCESSING COATED SUBSTRATES
(FR) BOÎTIER DE TRAITEMENT, SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS REVÊTUS
(DE) PROZESSBOX, ANORDNUNGEN UND VERFAHREN ZUM PROZESSIEREN BESCHICHTETER SUBSTRATE
Abstract: front page image
(EN) The present invention relates to a transportable process box for processing substrates coated on one side, comprising: a base for the placement of a first substrate in a manner such that the latter is supported over the full area, wherein the base is designed in such a manner that coatings of the substrates can be subjected to a heat treatment by radiation energy supplied on the underside of the base, a frame, a cover which is placed onto the frame, an intermediate element which is arranged between the base and the cover and is intended for the placement of a second substrate in a manner such that the latter is supported over the full area, wherein the cover is designed in such a manner that the coatings of the substrates can be subjected to a heat treatment by radiation supplied on the top side of the cover. The invention also extends to arrangements and methods for processing substrates, in which a process box or a process carrier is mounted and loaded with substrates, is transported into a process chamber, and radiation energy is irradiated from above the cover and/or below the base. In the case of a premounted process carrier, the cover or a cover connected to the frame is delivered to the process carrier in order to form the process box.
(FR) L'invention concerne un boîtier de traitement pouvant être transporté, permettant de traiter des substrats revêtus unilatéralement, comprenant : un fond permettant de porter un premier substrat sur toute la surface de celui-ci, le fond étant réalisé de sorte que les revêtements des substrats peuvent être soumis à un traitement thermique au moyen d'une énergie rayonnante amenée sur la face inférieure du fond ; un cadre ; un couvercle posé sur le cadre ; un élément intermédiaire disposé entre le fond et le couvercle et permettant de poser un deuxième substrat sur toute la surface de celui-ci, le couvercle étant réalisé de sorte que les revêtements des substrats peuvent être exposés à un traitement thermique au moyen d'un rayonnement amené sur la face supérieure du couvercle. L'invention concerne par ailleurs des systèmes et des procédés de traitement de substrats, selon lesquels un boîtier de traitement ou un support de traitement sont montés et chargés en substrats, transportés dans une chambre de traitement et une énergie rayonnante est injectée par le dessus du couvercle et/ou par le dessous du fond. Lorsque le support de traitement a été préalablement monté, le couvercle ou un couvercle relié au cadre est posé sur le support de traitement pour former le boîtier de traitement.
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine transportierbare Prozessbox zum Prozessieren einseitig beschichteter Substrate, umfassend: einen Boden zum vollflächig unterstützten Auflegen eines ersten Substrats, wobei der Boden so ausgebildet ist, dass Beschichtungen der Substrate durch an der Unterseite des Bodens zugeführte Strahlungsenergie wärmebehandelt werden können, einen Rahmen,einen Deckel, der auf den Rahmen aufgesetzt ist, ein zwischen Boden und Deckelangeordnetes Zwischenelement zum vollflächig unterstützten Auflegen eines zweiten Substrats, wobei der Deckel so ausgebildet ist, dass die Beschichtungen der Substrate durch an der Oberseite des Deckels zugeführte Strahlung wärmebehandelbar sind. Ferner erstreckt sie sich auf Anordnungen und Verfahren zum Prozessieren von Substraten, bei denen eine Prozessbox oder ein Prozessträger montiert und mit Substraten beladenwerden, in eine Prozesskammer transportiert werden, und Strahlungsenergie von oberhalb des Deckel und/oder unterhalb des Bodens eingestrahlt wird. Bei einem vormontierten Prozessträger wird der Deckel oder ein mit dem Rahmen verbundener Deckel zur Ausbildung der Prozessbox auf den Prozessträger zugestellt.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)