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1. (WO2013118909) IMAGE FORMING OPTICAL SYSTEM, IMAGING APPARATUS, PROFILE MEASURING APPARATUS, STRUCTURE MANUFACTURING SYSTEM AND STRUCTURE MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/118909    International Application No.:    PCT/JP2013/053441
Publication Date: 15.08.2013 International Filing Date: 06.02.2013
IPC:
G01B 11/24 (2006.01), G02B 27/00 (2006.01), G02B 7/00 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP).
NIKON METROLOGY NV [BE/BE]; Geldenaaksebaan 329, B-3001, Leuven (BE)
Inventors: KITAZAWA, Daisuke; (JP).
BLANCKAERT, Patrick; (BE)
Agent: KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden, 5-4, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Priority Data:
2012-024108 07.02.2012 JP
Title (EN) IMAGE FORMING OPTICAL SYSTEM, IMAGING APPARATUS, PROFILE MEASURING APPARATUS, STRUCTURE MANUFACTURING SYSTEM AND STRUCTURE MANUFACTURING METHOD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE DE FORMATION D'IMAGE, APPAREIL D'IMAGERIE, APPAREIL DE MESURE DE PROFIL, SYSTÈME DE FABRICATION DE STRUCTURE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE
Abstract: front page image
(EN)An image forming optical system (21) is an image forming optical system wherein an object plane (P1) and an image plane (P2) are inclined to each other in mutually opposite directions, with respect to a first axis (25) connecting a point in the object plane (P1) and a point in the image plane (P2) conjugate with the point in the object plane, in a flat plane which includes the first axis and which is perpendicular to an intersection line between a plane including the object plane and another plane including the image plane, the image forming optical system including a first optical member (51) which is non-coaxial with respect to the first axis in the flat plane. In a tilted-lens image forming optical system, it is possible to suppress the lowering of imaging performance.
(FR)Un système optique de formation d'image (21) est un système optique de formation d'image dans lequel un objet plan (P1) et un plan d'image (P2) sont inclinés l'un par rapport à l'autre dans des directions mutuellement opposées, par rapport à un premier axe (25) reliant un point dans le plan d'objet (P1) et un point dans le plan d'image (P2) conjugué au point dans le plan d'objet, dans un plan plat qui comprend le premier axe et qui est perpendiculaire à une ligne d'intersection entre un plan comprenant le plan d'objet et un autre plan comprenant le plan d'image, le système optique de formation d'image comprenant un premier élément optique (51) qui est non coaxial par rapport au premier axe dans le plan plat. Dans un système optique formant une image de lentille inclinée, il est possible de supprimer la diminution de performance d'imagerie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)