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1. (WO2013118803) DYE ADSORPTION DEVICE AND DYE ADSORPTION METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/118803    International Application No.:    PCT/JP2013/052805
Publication Date: 15.08.2013 International Filing Date: 07.02.2013
IPC:
H01M 14/00 (2006.01), H01L 31/04 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: TERADA Takashi; (JP)
Agent: KINOSHITA Shigeru; 11Fl. Pacific Marks Kawasaki, 11-1 Ekimaehoncho, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2100007 (JP)
Priority Data:
2012-023801 07.02.2012 JP
Title (EN) DYE ADSORPTION DEVICE AND DYE ADSORPTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ADSORPTION DE COLORANT ET PROCÉDÉ D'ADSORPTION DE COLORANT
(JA) 色素吸着装置及び色素吸着方法
Abstract: front page image
(EN)A dye adsorption device, wherein the dye adsorption time is significantly reduced compared to the prior art and productivity is improved, and the dye solution is used in an efficient manner at lower cost. This invention is provided with: a chamber (10) for housing the substrate (G) to be processed and forming a processing space (T); dye solution supply means (6, 7, 8) for supplying a dye solution (20) to the processing space; and decompression means (12, 13, 14) for performing decompression suction in the interior of the processing space. The decompression means dries the dye solution in the processing space under reduced pressure, causing the solvent in the dye solution to volatilize and the dye to be adsorbed by the semiconductor porous layer.
(FR)Un dispositif d'adsorption de colorant, dans lequel le temps d'adsorption de colorant est sensiblement réduit par rapport à la méthode antérieure, la productivité améliorée, et la solution de colorant est utilisée de manière efficace à un coût inférieur. La présente invention est pourvue : d'une chambre (10) pour loger le substrat (G) à être traité et formant un espace de traitement (T) ; des moyens d'alimentation en solution de colorant (6, 7, 8) pour fournir une solution de colorant (20) à l'espace de traitement ; et des moyens de décompression (12, 13, 14) pour effectuer l'aspiration de décompression dans l'intérieur de l'espace de traitement. Le moyen de décompression sèche la solution de colorant dans l'espace de traitement sous pression réduite, provoquant la volatilisation du solvant dans la solution de colorant et l'adsorption du colorant par la couche poreuse semi-conductrice.
(JA)色素吸着装置において、従来よりも色素吸着時間を大幅に短縮して生産性を向上し、且つ、色素溶液を効率的に使用してコストを低減する。被処理基板Gを収容し、処理空間Tを形成するチャンバ10と、前記処理空間に色素溶液20を供給する色素溶液供給手段6,7,8と、前記処理空間内を減圧吸引する減圧手段12,13,14とを備え、前記減圧手段により前記処理空間内の色素溶液が減圧乾燥され、前記色素溶液の溶媒が揮発して前記半導体多孔質層に色素が吸着される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)