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1. (WO2013118613) PATTERN EVALUATION METHOD AND PATTERN EVALUATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/118613    International Application No.:    PCT/JP2013/051945
Publication Date: 15.08.2013 International Filing Date: 30.01.2013
IPC:
G01B 15/04 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventors: MIYAMOTO, Atsushi; (JP).
OSAKI, Mayuka; (JP).
KIMURA, Maki; (JP).
SHISHIDO, Chie; (JP)
Agent: INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Priority Data:
2012-024657 08.02.2012 JP
Title (EN) PATTERN EVALUATION METHOD AND PATTERN EVALUATION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'ÉVALUATION DE MOTIF ET DISPOSITIF D'ÉVALUATION DE MOTIF
(JA) パターン評価方法およびパターン評価装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a pattern evaluation method, comprising: a step of estimating an allowed image capture misalignment for evaluating an overlap location in one or a plurality of evaluation point candidates on the basis of layout information of a pattern; a step of establishing one or a plurality of evaluation points from among the evaluation point candidates on the basis of the allowed image capture misalignment; a step of establishing an image capture sequence for image capturing the selected evaluation points; and a step of evaluating the overlap location of a first pattern and a second pattern from an image which is obtained by image capturing the evaluation points according to the image capture sequence.
(FR)La présente invention concerne un procédé d'évaluation de motif qui comprend : une étape d'estimation d'un désalignement de capture d'image permis pour évaluer une localisation de chevauchement dans un candidat ou une pluralité de candidats de point d'évaluation en fonction d'informations de disposition d'un motif ; une étape d'établissement d'un ou d'une pluralité de points d'évaluation parmi les candidats de point d'évaluation en fonction du désalignement de capture d'image permis ; une étape d'établissement d'une séquence de captures d'image pour la capture d'image des points d'évaluation sélectionnés ; et une étape d'évaluation de la localisation de chevauchement d'un premier motif et d'un second motif à partir d'une image qui est obtenue en réalisant une capture d'image des points d'évaluation selon la séquence de captures d'image.
(JA) パターンのレイアウト情報を基に一つあるいは複数の評価ポイント候補について重ね合わせ位置を評価するために許容される撮像ずれを推定するステップと,前記許容される撮像ずれを基に評価ポイント候補の中から一つあるいは複数の評価ポイントを決定するステップと,前記選択した評価ポイントを撮像するための撮像シーケンスを決定するステップと,前記撮像シーケンスに従って前記評価ポイントを撮像して得られた画像から第一のパターンと第二のパターンとの重ね合わせ位置を評価するステップを有することを特徴とするパターン評価方法である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)