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1. (WO2013118546) IMPRINT APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/118546    International Application No.:    PCT/JP2013/050702
Publication Date: 15.08.2013 International Filing Date: 09.01.2013
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), B81C 99/00 (2010.01), G11B 5/84 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Inventors: ARAI, Tsuyoshi; (JP)
Agent: OHTSUKA, Yasunori; 7th FL., KIOICHO PARK BLDG., 3-6, KIOICHO, CHIYODA-KU, Tokyo 1020094 (JP)
Priority Data:
2012-024522 07.02.2012 JP
Title (EN) IMPRINT APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE
(FR) APPAREIL D'EMPREINTE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ARTICLE
Abstract: front page image
(EN)The present invention provides an imprint apparatus which performs an imprint process of transferring a pattern onto a substrate, the apparatus comprising a deforming unit configured to deform the pattern surface by applying a force to the mold, an obtaining unit configured to obtain thickness information of the mold, a calculation unit configured to calculate a force to be applied to the mold based on the thickness information of the mold obtained by the obtaining unit, so that the pattern surface has a target shape in the imprint process, and a control unit configured to control the deforming unit to apply the force calculated by the calculation unit to the mold in the imprint process.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'impression qui effectue un processus d'impression consistant à transférer un motif sur un substrat, l'appareil comprenant une unité de déformation configurée pour déformer la surface de motif par l'application d'une force sur le moule, une unité d'obtention configurée pour obtenir des informations d'épaisseur du moule, une unité de calcul configurée pour calculer une force à être appliquée sur le moule, sur la base des informations d'épaisseur du moule obtenues par l'unité d'obtention, de sorte que la surface de motif a une forme cible dans le processus d'impression, et une unité de commande configurée pour commander l'unité de déformation pour appliquer la force calculée par l'unité de calcul au moule dans le processus d'impression.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)