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Pub. No.: WO/2013/118541 International Application No.: PCT/JP2013/050613
Publication Date: 15.08.2013 International Filing Date: 16.01.2013
IPC:
G01N 21/17 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
17
Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors: AOTA Toshimichi; JP
TERUI Yasushi; JP
Agent: INOUE Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220, JP
Priority Data:
2012-02464208.02.2012JP
Title (EN) TOMOGRAPHIC IMAGE MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE D'IMAGE TOMOGRAPHIQUE
(JA) 光断層画像測定装置
Abstract:
(EN) Provided is a tomographic image capture device, etc., with which it is possible to rapidly acquire a coherent reflected light intensity distribution of an object to be measured. A tomographic image measurement device comprises a unit, configured from: a first light beam segmenting means for segmenting a light beam which is emitted from a light source into a reference light beam and a signal light beam; an illumination means for illuminating a sample with the signal light beam; a second light beam segmenting means for segmenting the reference light into a group of a plurality of reference light beams; a third light beam segmenting means which segments the signal light beam which is either reflected or scattered from the sample into a group of a plurality of signal light beams; and a plurality of detectors which detect a coherence signal of one reference light beam of the reference light beam group and one signal light beam of the signal light beam group. A reference light beam and a signal light beam form a coherent signal which is detected with the same detectors, and the difference between the light beam path length in which the reference light beam passes from the first segmenting means to the detectors and the light beam path length in which the signal light beam passes from the first segmenting means to the detectors varies for each of the plurality of detectors.
(FR) La présente invention concerne, entre autres, un dispositif de capture d'image tomographique avec lequel il est possible d'acquérir rapidement une distribution d'intensités lumineuses réfléchies cohérentes d'un objet à mesurer. Le dispositif de mesure d'image tomographique selon l'invention comprend une unité comprenant : un premier moyen de segmentation de faisceau lumineux servant à segmenter un faisceau lumineux, qui est émis par une source de lumière, en un faisceau lumineux de référence et un faisceau lumineux de signal ; un moyen d'éclairage servant à éclairer un échantillon avec le faisceau lumineux de signal ; un deuxième moyen de segmentation de faisceau lumineux servant à segmenter la lumière de référence pour obtenir un groupe de plusieurs faisceaux lumineux de référence ; un troisième moyen de segmentation de faisceau lumineux servant à segmenter le faisceau lumineux de signal, qui est réfléchi ou diffusé à partir de l'échantillon, pour obtenir un groupe de plusieurs faisceaux lumineux de signal ; et une pluralité de détecteurs qui détectent un signal de cohérence d'un faisceau lumineux de référence du groupe de faisceaux lumineux de référence et un faisceau lumineux de signal du groupe de faisceaux lumineux de signal. Un faisceau lumineux de référence et un faisceau lumineux de signal forment un signal cohérent qui est détecté par les mêmes détecteurs, et la différence entre la longueur du trajet de faisceau lumineux dans lequel le faisceau lumineux de référence passe à partir du premier moyen de segmentation vers les détecteurs et la longueur du trajet de faisceau lumineux dans lequel le faisceau lumineux de signal passe à partir du premier moyen de segmentation vers les détecteurs varie pour chacun des détecteurs.
(JA)  測定対象物の干渉反射光強度分布を高速に取得することが可能となる光断層画像撮像装置等を提供する。 光源から出射された光を参照光と信号光に分割する第一の光分割手段と、前記信号光を試料に照射する照射手段と、前記参照光を複数の参照光群に分割する第二の光分割手段と、前記試料から反射または散乱された信号光を複数の信号光群に分割する第三の光分割手段と、前記参照光群の一つの参照光と前記信号光群の一つの信号光との干渉信号を検出する複数の検出器と、から構成され、同一の前記検出器で検出される干渉信号を形成する参照光と信号光であって、前記第一の分割手段から前記検出器まで当該参照光が通過した光路長と前記第一の分割手段から前記検出器まで当該信号光が通過した光路長との差が、複数の検出器ごとに異なることを特徴とするユニットを備える光断層画像測定装置。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)