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1. (WO2013118303) DEFECT INSPECTING APPARATUS, DEFECT INSPECTING METHOD, AND RECORDING MEDIUM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/118303    International Application No.:    PCT/JP2012/053188
Publication Date: 15.08.2013 International Filing Date: 10.02.2012
IPC:
G01M 11/00 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01), G09F 9/00 (2006.01)
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka 5458522 (JP) (For All Designated States Except US).
YASUKAWA, Minoru [JP/JP]; (For US Only)
Inventors: YASUKAWA, Minoru;
Agent: SAIKYO, Keiichiro; Nomura Fudosan Osaka Building 9th Floor 8-15, Azuchimachi 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5410052 (JP)
Priority Data:
Title (EN) DEFECT INSPECTING APPARATUS, DEFECT INSPECTING METHOD, AND RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUTS, PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUTS, ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) 欠陥検査装置、欠陥検査方法、および記録媒体
Abstract: front page image
(EN)Provided is a defect inspecting apparatus. In an automatic inspection step (31), an image pickup inspection obstructive factor determining unit determines whether there are image pickup inspection obstructive factors, such as an alignment error, a contact error, and an adhered foreign material. Corresponding to the image pickup obstructive factor thus determined, an image pickup inspection region determining unit determines an inspection region and a non-inspection region. On the basis of a picked up image, an image processing apparatus (14) detects a defect in the inspection region having been determined by means of the image pickup inspection region determining unit, and transmits inspection results to a display control apparatus (4). In a visual inspection step (32), a display unit (8) displays, to a visual inspection operator, the non-inspection region and the defect detected in the automatic inspection. The operator of the visual inspection performs visual inspection by following the information displayed by the display unit (8), and inputs inspection results by means of an input unit (9).
(FR)L'invention concerne un dispositif d'inspection de défauts. Dans une étape d'inspection automatique (31), une unité de détermination de facteur d'obstruction d'inspection de capteur d'image détermine s'il y a des facteurs d'obstruction d'inspection de capteur d'image, tels qu'une erreur d'alignement, une erreur de contact, et un corps étranger collé. Une unité de détermination de zone d'inspection de capteur d'image, correspondant au facteur d'obstruction de capteur d'image ainsi déterminé, détermine une zone d'inspection et une zone de non-inspection. Sur la base d'une image capturée, un dispositif de traitement d'image (14) détecte un défaut dans la zone d'inspection ayant été déterminée au moyen de l'unité de détermination de zone d'inspection de capteur d'image, et transmet des résultats d'inspection à un dispositif de commande d'affichage (4). Dans une étape d'inspection visuelle (32), une unité d'affichage (8) présente, à un opérateur d'inspection visuelle, la zone de non-inspection et le défaut détecté lors de l'inspection automatique. L'opérateur de l'inspection visuelle effectue une inspection visuelle en suivant les informations affichées par l'unité d'affichage (8), et entre des résultats d'inspection au moyen d'une unité d'entrée (9).
(JA) 欠陥検査装置が提供される。自動検査工程(31)では、撮像検査阻害要因判定部は、アライメントエラー、コンタクトエラーおよび付着異物などの撮像検査阻害要因の有無を判定する。撮像検査領域判定部は、判定された撮像検査阻害要因に応じて、検査領域および非検査領域を判定する。画像処理装置(14)は、撮像画像に基づいて、撮像検査領域判定部によって判定された検査領域の欠陥を検出し、検査結果を表示制御装置(4)に送る。目視検査工程(32)では、表示部(8)は、目視検査作業者に自動検査での非検査領域と検出された欠陥とを表示する。目視検査作業者は、表示部(8)の情報に従って目視検査を行い、検査結果を入力部(9)で入力する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)