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1. (WO2013116356) MEMS MULTI-AXIS ACCELEROMETER ELECTRODE STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/116356    International Application No.:    PCT/US2013/023877
Publication Date: 08.08.2013 International Filing Date: 30.01.2013
IPC:
G01C 19/56 (2012.01), B81B 7/00 (2006.01), G01C 19/5783 (2012.01), G01P 15/02 (2013.01)
Applicants: FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION [US/US]; 3030 Orchard Parkway San Jose, California 95134 (US)
Inventors: ACAR, Cenk; (US).
BLOOMSBURGH, John Gardner; (US)
Agent: ARORA, Suneel; Schwegman, Lundberg & Woessner, P.A. P.O. Box 2938 Minneapolis, Minnesota 55402 (US)
Priority Data:
13/362,955 31.01.2012 US
Title (EN) MEMS MULTI-AXIS ACCELEROMETER ELECTRODE STRUCTURE
(FR) STRUCTURE D'ÉLECTRODE D'ACCÉLÉROMÈTRE MULTI-AXE MEMS
Abstract: front page image
(EN)This document discusses, among other things, an inertial sensor including a single proof-mass formed in an x-y plane of a device layer, the single proof-mass including a single, central anchor configured to suspend the single proof-mass above a via wafer. The inertial sensor further includes first and second electrode stator frames formed in the x-y plane of the device layer on respective first and second sides of the inertial sensor, the first and second electrode stator frames symmetric about the single, central anchor, and each separately including a central platform and an anchor configured to fix the central platform to the via wafer, wherein the anchors for the first and second electrode stator frames are asymmetric along the central platforms with respect to the single, central anchor.
(FR)Ce document discute, entre autres, d'un capteur inertiel comprenant une seule masse d'étalon formée dans un plan x-y d'une couche de dispositif, ladite seule masse d'étalon comprenant une seule ancre centrale configurée pour suspendre cette dernière au-dessus d'une tranche à trous d'interconnexion. Le capteur inertiel comporte en outre un premier et un deuxième cadre de stator à électrodes formés dans le plan x-y de la couche de dispositif sur les premier et deuxième côtés respectifs du capteur inertiel, les premier et deuxième cadres de stator à électrodes symétriques autour de l'ancre centrale unique, et comprenant chacun séparément une plateforme centrale et une ancre configurée pour fixer la plateforme centrale à la tranche à trous d'interconnexion, les ancres pour les premier et deuxième cadres de stator à électrodes étant symétriques le long des plateformes centrales par rapport à l'ancre centrale unique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)