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1. (WO2013116109) METHOD OF SURFACE TENSION CONTROL TO REDUCE TRAPPED GAS BUBBLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2013/116109 International Application No.: PCT/US2013/023214
Publication Date: 08.08.2013 International Filing Date: 25.01.2013
IPC:
B29C 59/02 (2006.01) ,B29C 33/56 (2006.01)
Applicants: SEAGATE TECHNOLOGY LLC[US/US]; 10200 South De Anza Blvd. Cupertino, California 95014, US
Inventors: PARK, Sang-Min; US
KURATAKA, Nobuo; US
GAUZNER, Gennady; US
Agent: GALLENSON, Mavis S.; 5670 Wilshire Boulevard, Suite 2100 Los Angeles, California 90036, US
Priority Data:
13/362,97231.01.2012US
Title (EN) METHOD OF SURFACE TENSION CONTROL TO REDUCE TRAPPED GAS BUBBLES
(FR) PROCÉDÉ DE CONTRÔLE DE TENSION SUPERFICIELLE POUR RÉDUIRE LES BULLES DE GAZ PIÉGÉ
Abstract: front page image
(EN) The embodiments disclose a method of surface tension control to reduce trapped gas bubbles in an imprint including modifying chemistry aspects of interfacial surfaces of an imprint template and a substrate to modify surface tensions, differentiating the interfacial surface tensions to control interfacial flow rates of a pre-cured liquid resist and controlling pre-cured liquid resist interfacial flow rates to reduce trapping gas and prevent trapped gas bubble defects in cured imprinted resist.
(FR) Les modes de réalisation portent sur un procédé de contrôle de tension superficielle pour réduire les bulles de gaz piégé dans une empreinte, incluant la modification des aspects chimiques des surfaces interfaciales d'une matrice d'empreinte ainsi qu'un substrat pour modifier des tensions superficielles, par différenciation des tensions superficielles interfaciales pour contrôler des débits interfaciaux d'un produit de réserve liquide prédurci et le contrôle des débits interfaciaux de produit de réserve liquide prédurci afin de réduire le gaz piégé et éviter des défauts de bulles de gaz piégé dans le produit de réserve imprimé durci.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)