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1. (WO2013114959) CONFOCAL MEASUREMENT DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/114959    International Application No.:    PCT/JP2013/050769
Publication Date: 08.08.2013 International Filing Date: 17.01.2013
IPC:
G01C 3/06 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01)
Applicants: OMRON CORPORATION [JP/JP]; 801, Minamifudodo-cho, Horikawahigashiiru, Shiokoji-dori, Shimogyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6008530 (JP)
Inventors: HAYAKAWA, Masayuki; (JP).
YAMASHITA, Yoshihiro; (JP)
Agent: FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.; Nakanoshima Central Tower, 2-7, Nakanoshima 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005 (JP)
Priority Data:
2012-022539 03.02.2012 JP
Title (EN) CONFOCAL MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURAGE CONFOCAL
(JA) 共焦点計測装置
Abstract: front page image
(EN)The present invention is a confocal measurement device for measuring the displacement of a measurement subject (200) using a confocal optical system. The confocal measurement device is provided with: a light source for emitting light having a plurality of wavelengths; a diffractive lens (1) for generating a chromatic aberration along the optical axis direction in the light emitted from the light source; and a measurement unit for measuring, for each wavelength, the intensity of light focused on the measurement subject (200) from amongst the light in which the diffractive lens (1) has generated a chromatic aberration. Furthermore, the confocal measurement device is configured so that the principal light beam (11b) from the light source to the diffractive lens (1) is displaced from the optical axis (1a) of the diffractive lens (1).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesurage confocal, destiné à mesurer le déplacement d'un objet de mesure (200) à l'aide d'un système optique confocal. Le dispositif de mesurage confocal est doté : d'une source lumineuse destinée à émettre de la lumière et ayant une pluralité de longueurs d'ondes ; d'une lentille de diffraction (1) destinée à générer une aberration chromatique le long de la direction de l'axe optique dans la lumière émise par la source lumineuse ; et d'une unité de mesurage permettant de mesurer, pour chaque longueur d'ondes, l'intensité de la lumière focalisée sur l'objet de mesure (200) dans la lumière dans laquelle la lentille de diffraction (1) a généré une aberration chromatique. En outre, le dispositif de mesurage confocal est conçu de sorte que le faisceau de lumière principal (11b) provenant de la source lumineuse vers la lentille de diffraction (1) soit déplacé depuis l'axe optique (1a) de la lentille de diffraction (1).
(JA) 本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物(200)の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置は、複数の波長の光を出射する光源と、光源から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ(1)と、回折レンズ(1)で色収差を生じさせた光のうち、計測対象物(200)において合焦する光の強度を波長ごとに計測する計測部とを備えている。さらに、共焦点計測装置は、光源から回折レンズ(1)への主光線(11b)を、回折レンズ(1)の光軸(1a)に対してずらしてある。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)