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1. (WO2013114100) BEAM SCANNING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/114100    International Application No.:    PCT/GB2013/050195
Publication Date: 08.08.2013 International Filing Date: 29.01.2013
IPC:
G01Q 10/04 (2010.01), G01Q 20/02 (2010.01), B82Y 35/00 (2011.01)
Applicants: INFINITESIMA LIMITED [GB/GB]; Oxford Centre for Innovation New Road Oxford Oxfordshire OX1 1BY (GB)
Inventors: HUMPHRIS, Andrew; (GB).
ZHAO, Bin; (GB)
Agent: RIBEIRO, James; Withers & Rogers LLP 4 More London Riverside London SE1 2AU (GB)
Priority Data:
1201640.8 31.01.2012 GB
Title (EN) BEAM SCANNING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE BALAYAGE DE FAISCEAU
Abstract: front page image
(EN)Apparatus for illuminating a probe of a probe microscope. A lens is arranged to receive a beam and focus it onto the probe. A scanning system varies over time the angle of incidence at which the beam enters the lens relative to its optical axis. The scanning system is typically arranged to move the beam so as to track movement of the probe, thereby maintaining the location on the probe at which the beam is focused. The scanning system may comprise a beam steering mirror which reflects the beam towards the lens; and a mirror actuator for rotating the beam steering mirror.
(FR)On décrit un appareil d'éclairage d'une sonde d'un microscope à sonde. Une lentille est agencée pour recevoir un faisceau et le focaliser sur la sonde. Un système de balayage varie dans le temps l'angle d'incidence auquel le faisceau pénètre dans la lentille par rapport à son axe optique. Le système de balayage est généralement agencé pour déplacer le faisceau de manière à suivre le déplacement de la sonde, ce qui permet de maintenir l'emplacement de focalisation du faisceau sur la sonde. Le système de balayage peut comprendre un miroir d'orientation de faisceau qui réfléchit le faisceau en direction de la lentille; et un actionneur de miroir pour mettre en rotation le miroir d'orientation de faisceau.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)