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1. (WO2013112759) PLANAR MOTOR WITH ASYMMETRICAL MAGNET ARRAYS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/112759    International Application No.:    PCT/US2013/023020
Publication Date: 01.08.2013 International Filing Date: 24.01.2013
IPC:
H02K 41/02 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1 Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo, 100-8331 (JP).
BINNARD, Michael, B. [US/US]; (US) (US only).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (US only).
WELLS, J., Kyle [US/US]; (US) (US only)
Inventors: BINNARD, Michael, B.; (US).
SHIBAZAKI, Yuichi; (JP).
WELLS, J., Kyle; (US)
Agent: ROEDER, Steven, G.; Roeder & Broder LLP 5560 Chelsea Avenue La Jolla, CA 92037 (US)
Priority Data:
61/623,201 12.04.2012 US
61/590,687 25.01.2012 US
61/591,231 26.01.2012 US
Title (EN) PLANAR MOTOR WITH ASYMMETRICAL MAGNET ARRAYS
(FR) MOTEUR PLANAIRE COMPRENANT DES ENSEMBLES D'AIMANTS ASYMÉTRIQUES
Abstract: front page image
(EN)A stage assembly (10) that moves a device (38) includes a stage mover (16) that moves the stage (14) along a first axis and along a second axis. The stage mover (16) includes a magnet assembly (20), and a conductor assembly (22). The conductor assembly (22) includes a plurality of first axis conductor units (24) and a plurality of second axis conductor units (26). The magnet assembly (20) includes a first axis magnet array (28A) and a second axis magnet array (30A). The first axis conductor units (24) are arranged in an alternating fashion with the second axis conductor units (26) along the first axis and along the second axis. The performance of the stage mover (16) can be different in the first and second axes. Either the conductor units (24) (26) and/or the magnet arrays (28A) (30A) can have a different geometry in the first and second axes.
(FR)Un ensemble d'étages (10) qui déplace un dispositif (38) comprend un moteur d'étage (16) qui déplace l'étage (14) le long d'un premier axe et le long d'un deuxième axe. Le moteur d'étage (16) comprend un ensemble d'aimants (20), et un ensemble de conducteurs (22). L'ensemble de conducteurs (22) comprend une pluralité d'unités conductrices de premier axe (24) et une pluralité d'unités conductrices de deuxième axe (26). L'ensemble d'aimants (20) comprend un ensemble d'aimants de premier axe (28a) et un ensemble d'aimants de second axe (30a). Les unités conductrices de premier axe (24) sont disposées de manière alternée avec les unités conductrices de deuxième axe (26) le long du premier axe et le long du deuxième axe. Les performances du moteur d'étage (16) peuvent être différentes dans les premier et second axes. Soit les unités conductrices (24) (26) et/ou les ensembles d'aimants (30a) (28a) peuvent présenter une géométrie différente dans les premier et les second axes.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)