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1. (WO2013111600) ORGANIC ELECTROLUMINESCENT ELEMENT MANUFACTURING APPARATUS AND ORGANIC ELECTROLUMINESCENT ELEMENT MANUFACTURING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/111600    International Application No.:    PCT/JP2013/000375
Publication Date: 01.08.2013 International Filing Date: 25.01.2013
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/14 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
Applicants: PANASONIC CORPORATION [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP)
Inventors: KITAMURA, Kazuki;
Agent: NISHIKAWA, Yoshikiyo; Hokuto Patent Attorneys Office, Umeda Square Bldg., 9F., 12-17, Umeda 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300001 (JP)
Priority Data:
2012-015566 27.01.2012 JP
Title (EN) ORGANIC ELECTROLUMINESCENT ELEMENT MANUFACTURING APPARATUS AND ORGANIC ELECTROLUMINESCENT ELEMENT MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE
(JA) 有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide an apparatus for manufacturing organic electroluminescent elements having a more uniform luminance. [Solution] The present invention pertains to an organic electroluminescent element manufacturing apparatus that forms an organic layer (13) by sequentially laminating, by means of vapor deposition, thin-film layers (6) from a plurality of vapor deposition units (1) on vapor deposition target bodies (10) being conveyed. Each vapor deposition unit (1) is provided with an evaporation source (2) that emits a vapor deposition material for forming the thin-film layers (6), and a cylindrical body (3) that discharges the vapor deposition material emitted from the evaporation source (2) toward a deposition target body (10). The cylindrical body has an opening through which the vapor deposition material is discharged. The opening adjustably forms a discharge amount distribution of the vapor deposition material using a discharge amount regulating structure. The plurality of vapor deposition units (1) each have a convex distribution vapor deposition unit (1a) in which the film thickness distribution of the thin-film layers (6) regulated by the discharge amount regulating structure (50) takes on a convex form, and a concave distribution vapor deposition unit (1b) in which the film thickness distribution of the thin-film layers (6) regulated by the discharge amount regulating structure (50) takes on a concave shape. Luminance can be made more uniform by bringing the thickness of laminated bodies formed by vapor deposition uniformly close.
(FR)L'objet de l'invention est de fournir un appareil de fabrication d'éléments électroluminescents organiques présentant une luminance plus uniforme. A cet effet, la présente invention concerne un appareil de fabrication d'élément électroluminescent organique formant une couche organique (13) par stratification séquentielle, au moyen d'un dépôt en phase vapeur, de couches minces (6) à partir d'une pluralité d'unités de dépôt en phase vapeur (1) sur des corps cibles de dépôt en phase vapeur (10) en train d'être transportés. Chaque unité de dépôt en phase vapeur (1) est pourvue d'une source d'évaporation (2) émettant une matière de dépôt en phase vapeur destinée à former les couches minces (6), et un corps cylindrique (3) évacuant la matière de dépôt en phase vapeur émise par la source d'évaporation (2) en direction d'un corps cible de dépôt (10). Le corps cylindrique présente une ouverture par laquelle la matière de dépôt en phase vapeur est évacuée. L'ouverture forme de manière réglable une distribution de quantité d'évacuation de la matière de dépôt en phase vapeur au moyen d'une structure de régulation de quantité d'évacuation. La pluralité d'unités de dépôt en phase vapeur (1) présentent chacune une unité de dépôt en phase vapeur de distribution convexe (1a) dans laquelle la distribution d'épaisseur de film des couches minces (6) régulée par la structure de régulation de quantité d'évacuation (50) adopte une forme convexe, et une unité de dépôt en phase vapeur de distribution concave (1b) dans laquelle la distribution d'épaisseur de film des couches minces (6) régulée par la structure de régulation de quantité d'évacuation (50) prend une forme concave. La luminance peut être rendue plus uniforme en rendant l'épaisseur des corps stratifiés formés par dépôt en phase vapeur uniformément proche.
(JA)【課題】発光輝度がより均一な有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する装置を提供する。 【解決手段】搬送される被蒸着体10に、複数の蒸着ユニット1から薄膜層6を蒸着により順次に積層して有機層13を形成する有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置に関する。各蒸着ユニット1は、薄膜層6を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源2と、蒸着源2から放射された蒸着材料を被蒸着体10に向けて放出する筒状体3とを備える。この筒状体は前記蒸着材料を放出する開口部を有する。この開口部は放出量調整構造により前記蒸着材料の放出量分布を調整可能に形成される。前記複数の蒸着ユニット1は、放出量調整構造50によって調整された薄膜層6の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニット1aと、放出量調整構造50によって調整された薄膜層6の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニット1bとを有する。蒸着により積層される積層体の厚みを均一に近づけて発光輝度をより均一にできる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)