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1. (WO2013111255) RADIATION TARGET AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/111255    International Application No.:    PCT/JP2012/051297
Publication Date: 01.08.2013 International Filing Date: 23.01.2012
IPC:
H01J 35/08 (2006.01), C22C 14/00 (2006.01), H01J 35/18 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP) (For All Designated States Except US).
OGURA Takao [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ITO Nobuhiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OGURA Takao; (JP).
ITO Nobuhiro; (JP)
Agent: ABE Takuma; C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501 (JP)
Priority Data:
Title (EN) RADIATION TARGET AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
(FR) CIBLE DE RAYONNEMENT ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 放射線ターゲット及びその製造方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are a radiation discharge target and a radiation emission device whereby adhesion of a layered radiation target is stabilized, output fluctuations associated with operating temperature histories are alleviated, and a stable radiation emission characteristic is present. This radiation target comprises a support substrate, a target layer which emits radiation by illumination with an electron beam, and an intermediate layer which is located between the support substrate and the target layer. The intermediate layer is 1µm or less in thickness and has titanium as a primary constituent. At least a portion of the titanium exhibits a β phase at 400°C or below.
(FR)La Présente invention se rapporte à une cible de sortie de rayonnement et un dispositif d'émission de rayonnement par lequel l'adhésion d'une cible de rayonnement en couches est stabilisée, les fluctuations de sortie associées à des historiques de températures de fonctionnement sont atténuées, et une caractéristique d'émission de rayonnement stable est présente. Cette cible de rayonnement comprend un substrat de support, une couche cible qui émet un rayonnement par éclairage avec un faisceau d'électrons, et une couche intermédiaire qui est située entre le substrat de support et la couche cible. L'épaisseur de la couche intermédiaire est de 1 µm ou moins, et son constituant primaire est le titane. Au moins une partie du titane présente une phase beta à 400 °C ou moins.
(JA) 積層型放射線ターゲットの密着性を安定化させ、動作温度履歴に伴う出力変動を抑制し、安定した放射線放出特性を有する放射線放出ターゲット及び放射線発生装置を提供する。 支持基板と、電子線の照射により放射線を発生するターゲット層と、前記支持基板と前記ターゲット層との間に位置する中間層とを備えた放射線ターゲットにおいて、前記中間層は、その層厚が1μm以下であるとともに、チタンを主成分として含有し、前記チタンの少なくとも一部は、400℃以下においてβ相を呈することを特徴とする放射線ターゲット。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)