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1. (WO2013110582) APPARATUS AND METHOD FOR TREATING PLATE-SHAPED PROCESS ITEMS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2013/110582    International Application No.:    PCT/EP2013/051091
Publication Date: 01.08.2013 International Filing Date: 22.01.2013
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: SINGULUS STANGL SOLAR GMBH [DE/DE]; Fraunhoferstrasse 9 82256 Fürstenfeldbruck (DE)
Inventors: GRÄFF, Michael; (DE).
MENSCHICK, Martin Maximilian; (DE)
Agent: ZIMMERMANN, Tankred; P.O. Box 246 82043 Pullach (DE)
Priority Data:
10 2012 201 109.9 26.01.2012 DE
10 2012 210 618.9 22.06.2012 DE
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR TREATING PLATE-SHAPED PROCESS ITEMS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR LE TRAITEMENT DES ÉLÉMENTS DE PROCESSUS EN FORME DE PLAQUE
Abstract: front page image
(EN)In apparatuses and methods for treating a plate-shaped process item comprising a bottom side, a top side and edges between the bottom side and the top side with a process medium, a transport means is used, which comprises an endless means with support elements projecting from the same. A bottom side of the plate-shaped process item is supported on support elements of the transport means and the transport means is driven to move the support elements together with the supported plate-shaped process item in parallel to a process media level of a process medium. In a first operating mode, during a movement of the plate-shaped process item in parallel to the process media level, no parts of the transport means engage the edges of the plate-shaped process item.
(FR)Dans des appareils et des procédés de traitement d'un élément de processus en forme de plaque, comprenant une face inférieure, une face supérieure et des bords entre la face inférieure et la face supérieure avec un milieu de processus, un moyen de transport est utilisé, qui comprend un moyen sans fin avec des éléments de support faisant saillie à partir de ce même moyen. Une face inférieure de l'élément de processus en forme de plaque est supportée par des éléments de support du moyen de transport, et le moyen de transport est entraîné pour déplacer les éléments de support conjointement avec l'élément de processus en forme de plaque supporté, en parallèle à un niveau de support de processus d'un milieu de processus. Dans un premier mode de fonctionnement, pendant un mouvement de l'élément de processus en forme de plaque, en parallèle au niveau du support de processus, aucune partie du moyen de transport n'entre en contact avec les bords de l'élément de processus en forme de plaque.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)